ASML 만나고 온 이재용 "네덜란드 출장 성과, 반도체가 90%"

이재용 삼성전자 회장이 네덜란드 방문을 마치고 15일 오전 서울 강서구 서울김포비즈니스항공센터를 통해 귀국하고 있다. / 사진=뉴시스 김금보 기자

윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문 동행 일정을 마치고 귀국한 이재용 삼성전자 회장이 반도체 부문 성과에 긍정적인 평가를 내렸다.

이 회장은 15일 오전 7시3분께 서울김포비즈니스항공센터(SGBAC)를 통해 경계현 삼성전자 DS부문장(사장) 등과 함께 귀국했다.

이날 이 회장은 출장 성과를 묻는 취재진의 질문에 "반도체가 거의 90%"라고 답변했다. 이 회장은 출장 기간 네덜란드 남동부 벨트호벤에 있는 ASML 본사를 방문해 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)를 만나 반도체 협력을 맺었다.

양사가 협력해 국내에 약 1조원을 공동 투자해 극자외선(EUV) 노광장비를 활용한 첨단 반도체 연구 팹을 건립한다는 내용이다.

경계현 사장은 이번 협약에 대해 "경기도 동탄에 반도체 공동연구소를 짓고 그곳에서 하이 NA EUV 장비를 들여온 뒤 ASML 엔지니어와 삼성전자의 엔지니어들이 같이 기술개발을 하는 것이 주목적"이라며 "이를 통해 하이 NA EUV에 대한 기술적 우선권을 삼성전자가 갖게 될 것 같고 장기적으로 D램 등에서 하이 NA EUV를 잘 쓸 수 있는 계기를 만들지 않았나 생각한다"고 말했다.

하이 NA EUV는 최신 노광장비인 EUV의 다음 버전으로 현재 최첨단 공정인 3나노 이후 공정에 필요한 기술이다. ASML은 오는 2025년부터 장비 양산을 시작할 것으로 알려졌다.

'경쟁사보다 EUV 장비를 빠르게 들여올 수 있게 된것인가'라는 질문에 경 사장은 "그런 관점보다는 ASML 엔지니어와 삼성의 엔지니어가 같이 공동연구를 하는 것"이라며 "이제 삼성이 하이 NA EUV를 더 잘 쓸 수 있는 협력관계를 맺어가는 것이 중요하다고 본다"고 답했다.

그러면서 "EUV는 반도체 산업에서 가장 중요한 툴(장비) 중 하나"라며 "전체적인 반도체의 공급망 입장에서 굉장히 튼튼한 우군을 확보했다"고 강조했다.

이한듬 기자 mumford@mt.co.kr
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