네덜란드서 귀국한 이재용 “출장 성과 90%는 반도체”

삼성전자-ASML, 차세대 반도체 제조기술 R&D센터 국내 설립 협약 체결
동행한 경계현 사장 “든든한 우군 얻어…차세대 EUV 기술 우선권 확보”

(시사저널=김은정 디지털팀 기자)

네덜란드를 방문했던 이재용 삼성전자 회장이 15일 오전 서울김포비즈니스항공센터를 통해 귀국하고 있다. ⓒ 연합뉴스

3박 5일간의 네덜란드 출장을 마치고 돌아온 이재용 삼성전자 회장이 "이번 순방은 반도체가 거의 90%였다"고 언급했다.

이 회장은 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈방문 일정 동행을 마치고 이날 오전 7시 서울 김포공항을 통해 귀국하는 길에 만난 취재진의 순방 성과 관련 질문에 이같이 답변했다.

앞서 이번 순방에서 삼성전자는 '슈퍼을(乙)'로 불리는 네덜란드 반도체 장비 업체 ASML과 약 7억 유로(한화 약 1조원) 규모의 차세대 반도체 제조 기술 연구개발(R&D) 센터를 국내에 설립하는 업무협약(MOU)을 체결했다.

ASML은 전 세계에서 유일하게 극자외선(EUV) 노광장비를 생산하는 기업이다. 1대당 약 2000억원에 달하는 EUV는 연간 생산량이 약 50대에 불과해 품귀 현상을 빚고 있다. EUV는 7나노미터(㎚·1㎚=10억분의 1m) 이하의 초미세 공정 구현에 있어 필수 장비다. 이 때문에 삼성전자는 ASML과의 협력 관계를 중시하고 있다.

이 회장과 함께 귀국한 경계현 디바이스솔루션(DS)부문장(사장)은 "이제 삼성이 '하이 뉴메리컬어퍼처(High NA) EUV'에 대한 기술적인 우선권을 갖게 됐다"며 "장기적으로 D램이나 로직에서 하이 NA EUV를 잘 쓸 수 있는 계기를 만들지 않았나 생각한다"고 밝혔다. ASML이 곧 출하할 '하이 NA EUV' 장비는 2나노미터 공정의 핵심 장비다.

경 사장은 "이번 협약은 경기도 동탄에 공동 연구소를 짓고 거기서 하이 NA EUV를 들여와서 ASML 엔지니어와 삼성의 엔지니어들이 같이 기술 개발하는 것이 주목적"이라며 "장비를 빨리 들여온다는 관점보다는 공동 연구를 통해 삼성이 하이 NA EUV를 더 잘 쓸 수 있는 협력 관계를 맺어가는 게 더 중요하다"고 말했다.

이어 "EUV가 가장 중요한 툴 중 하나이기 때문에 이를 통해 전체적인 반도체 공급망 입장에서 굉장히 든든한 우군을 확보했다"고 평했다.