이재용 "반도체가 90%"…2나노 경쟁력 '성큼'

"삼성, 하이 NA EUV 더 잘 쓸 수 있는 협력관계 중요"

삼성전자 이재용 회장은 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문에 대해 "반도체가 거의 90%였다"고 15일 밝혔다.

이 회장은 이날 오전 윤 대통령의 네덜란드 국빈 방문의 동행을 마치고 서울 김포공항 비즈니스센터를 통해 귀국하며 이같이 말했다.

이번 방문을 통해 삼성전자와 ASML은 7억 유로(약 1조 원)를 투자해 공동 연구소를 설립하기로 했다. 차세대 EUV(극자외선) 장비를 활용한 초미세 첨단 반도체 공정 기술 개발을 위한 연구소다.

이 회장과 동행한 경계현 DS(디바이스솔루션)부문장(사장)은 "삼성이 하이 뉴메리컬어퍼처(High NA) EUV'에 대한 기술적인 우선권을 갖게 됐다"면서 "장기적으로 D램이나 로직에서 하이 NA EUV를 잘 쓸 수 있는 계기를 만들지 않았나 생각한다"고 강조했다.

ASML의 하이 NA EUV 장비는 2㎚(나노미터·1㎚는 10억 분의 1m) 공정의 핵심 장비로 평가된다. 삼성전자는 대만의 TSMC와 2나노 공정 기술 개발 경쟁을 하고 있다.

경 사장은 이어 "장비를 빨리 들여온다는 관점보다는 공동 연구를 통해 삼성이 하이 NA EUV를 더 잘 쓸 수 있는 협력관계를 맺어가는 게 더 중요하다"고 설명했다.

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CBS노컷뉴스 장성주 기자 joo501@cbs.co.kr

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