세계 최대 반도체 장비업체 수사중, 韓 거쳐 中 장비 공급 의혹

세계 매출 순위 1위 반도체 장비업체 AMAT, 美 법무부 수사 받아
中 SMIC에 美 허가 없이 장비 수출 의혹, 韓 자회사 거쳐 전달

미국 어플라이드머티어리얼즈(AMAT) 로고.로이터연합뉴스

[파이낸셜뉴스] 미국 및 세계 최대 반도체 장비 제작업체인 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)가 미 법무부의 범죄 수사를 받고 있다는 주장이 나왔다. 미국의 허가 없이 중국 반도체 업체에 장비를 팔았다는 혐의다.

싱가포르 매체 스트레이트타임스 등 외신들은 16일(이하 현지시간) 3명의 관계자를 인용해 AMAT가 중국 1위 반도체 기업 중신궈지(SMIC)에 미 정부 허가 없이 장비를 판매한 혐의로 수사를 받고 있다고 전했다. 관계자에 따르면 AMAT는 미국 매사추세츠주 글로스터에서 제작한 반도체 생산 장비를 한국 자회사에 여러 차례 보냈다. 수억달러의 AMAT의 장비는 한국을 거쳐 SMIC로 넘어갔다고 알려졌다.

앞서 미 상무부는 2020년 12월에 SMIC를 중국군과 연계되었다는 혐의를 들어 수출 통제 대상으로 지정했다. 당시 상무부는 미 반도체 장비 업체들이 10nm(나노미터·10억분의 1ｍ) 이하 첨단 공정에 쓰이는 반도체 장비를 수출 통제 기업에게 수출할 때 정부 허가를 받도록 강제했다.

2021년 기준 세계 반도체 장비 업체 매출 순위에서 1위를 차지한 AMAT와 4위 기업 램리서치 모두 미국 업체들이다. 미국은 매출 2위인 네덜란드 장비업체 ASML에게도 SMIC에 장비를 팔지 못하게 압박했다.

관계자에 의하면 AMAT의 장비 판매는 미 상무부가 SMIC을 수출통제 대상으로 지정한 2020년 12월 이후인 2021년과 2022년에 이뤄졌다. AMAT는 16일 e메일 성명에서 “우리는 지난 2022년 10월에 특정 중국 매출에 대한 매사추세츠주 지방검찰청의 정보 요청 문서를 받았다고 밝혔다”고 강조했다. 회사는 이어 “우리는 정부에 협조하고 있으며 수출 통제 및 무역 규정을 비롯한 국제법을 준수한다”고 주장했다. 미 정부는 지난해 10월 발표에서 14~16nm 공정 반도체 생산 장비 수출까지 막으며 중국 기업에 대한 제재를 확대했다.

앞서 중국 최대 통신장비업체인 화웨이는 지난 8월 29일 고급 스마트폰인 '메이트 60 프로'를 출시했다. 캐나다 반도체 컨설팅업체 테크인사이트는 9월 보고서에서 해당 제품에 화웨이가 직접 설계한 반도체인 '기린 9000S'가 탑재되었으며 해당 반도체가 SMIC의 7nm 공정 기술로 제작됐다고 주장했다. 이에 미 공화당 의원들은 SMIC가 미국의 제재를 위반했다며 미 정부를 상대로 조사를 요구했다.

AMAT의 주가는 16일 보도 직후 7.3% 급락했다. 같은날 발표된 AMAT의 3·4분기 매출은 67억2000만달러(약 8조7017억원)로 시장 전망치(65억4000만달러)를 넘겼다. AMAT는 실적 발표에서 지난해 추가 반도체 규제가 매출에 큰 영향을 끼치지 않았다고 밝혔으며 3·4분기 매출의 44%가 중국에서 나왔다고 설명했다. AMAT는 다만 앞으로 중국 시장의 매출 비율이 30%로 줄어든다고 내다봤다.