中 3Q 반도체 제조장비 수입 90%↑…규제 앞두고 ‘사재기’

닛케이, 중 세관자료 분석…네덜란드산 6.1배 늘어
CSIS “비첨단장비, 中 첨단제품 양산에 전용될 수도”

[헤럴드경제=손미정 기자] 미국의 전방위적인 첨단기술 수출규제에도 불구하고 중국의 지난 3분기 반도체장비 수입이 급증한 것으로 나타났다.

14일 니혼게이자이신문(닛케이)은 중국 세관 자료를 바탕으로 ‘반도체용 제조 기계·장치’ 수입 동향을 분석한 결과 올해 7~9월 관련 수입액이 전년동기 대비 93% 증가한 634억위안(약 11조5141억원)을 기록했다고 보도했다.

이 기간 국가별로는 네덜란드로부터의 수입액이 전년대비 6.1배 대폭 늘었다. 장비별로는 미세공정의 핵심인 노광장비 관련 수입이 3.9배 증가했고, 이 중에서도 네덜란드산 노광장비 수입액은 6.2배 뛰었다.

세계 노광장비 시장은 네덜란드 반도체 장비 회사인 ASML이 사실상 독점하고 있다. 네덜란드는 지난 9월 1일부터 자국 반도체 장비업체들이 심자외선(DUV) 노광장비 등 일부 첨단 반도체 생산 설비를 수출할 때 정부 허가를 받도록 하고 있다. ASML은 현재 올해 연말까지는 일부 노광장비에 대한 중국 수출 허가를 얻은 상태지만, 내년 1월 1일부터 중국으로의 ASML DUV 노광장비 수출은 통제될 예정이다.

지난 8일 홍콩 사우스차이나모닝포스트(SCMP)는 중국이 수출 규제를 앞두고 ASML 노광장비 사재기에 나서고 있다는 보도를 내도내기도 했다. 당시 매체는 10월 세관 자료를 바탕으로 중국의 EU산 수입은 전년 동월대비 1.3% 감소한 반면, 네덜란드산 수입은 약 30% 증가했다면서 이같이 전했다.

이날 닛케이 역시 중국 기업들이 장비 수요와 무관하게 ASML 장비를 사들이고 있다고 지적했다. 실제 ASML의 3분기 매출 중 중국 비중은 46%로 전년 같은 분기 14%에서 크게 증가했다. ASML은 “수출 규제를 준수하면서 성숙단계나 중간단계 전용의 노광장비를 출하하고 있다”고 밝히기도 했다.

이시노 마사히코 도카이도쿄조사센터 선임 애널리스트는 닛케이에 “중국 반도체 제조사들이 실수요와 상관없이 ASML에 대한 발주에 뛰어들고 있을 가능성이 있다”고 강조했다.

일각에서는 중국이 사실상 외국산 첨단제조장비에 대한 접근이 가로막힌 가운데, 최근 중국이 사들이고 있는 비(非)첨단 제조장비들이 첨단제품 양산에 전용될 것이란 우려도 제기된다. 이미 화웨이는 지난 8월 출시한 자사 최신폰에 중국 최대 반도체 파운드리(위탁생산) 업체 SMIC의 7나노(㎚·1나노는 10억분의 1m) 반도체를 탑재하며, 중국이 미국 제재를 돌파해 자체 기술력을 구축했다는 전망에 힘을 실은 바 있다.

이와 관련 지난 10월 미국의 싱크탱크 전략국제문제연구소(CSIS) 보고서는 “SMIC의 기술력이 진보하고 있으며, 비첨단 노광장비 추가 구매를 통해 7나노 제품에 대한 SMIC의 잠재적인 생산능력은 더욱 높아질 수 있다”고 밝혔다.

한편 반도체 장비 수출 규제를 주도하고 있는 미국이 중국의 3분기 장비 수입에서 차지하는 비중은 9%를 기록했다. 지난 2021년 17%에서 8%포인트 감소한 것이다.

balme@heraldcorp.com