비드오리진, 반도체 핵심소재 양산에 성공

남재도 대표

국내 벤처기업 비드오리진은 2019년 성균관대 교수실험실 창업 프로그램을 통해 설립된 벤처기업이다. 남재도 성균관대 화학공학·고분자공학부 교수가 만들었다. 남재도 비드오리진 대표는 "비드오리진은 반도체산업 핵심 소재이면서 100% 해외에 의존하고 있는 세리아 연마 입자의 양산에 성공한 회사"라고 설명했다.

습식 세리아 연마 입자는 반도체 평탄화공정(CMP공정)의 핵심 소재이다. 칩 하나에 수백억~수천억 개의 트랜지스터를 집적하기 위하여 초정밀부위 (FEOL)에 사용되며, 반도체 생산 수율과 직결된 소재이다. 습식 세리아 연마 입자의 양산 기술은 세계에서 2~3개국 정도가 성공한 어려운 기술이다. 제품의 성능 입증과 양산에서 대부분 실패했다고 알려진다.

현재 삼성전자, SK하이닉스를 비롯한 반도체 제조기업은 100% 외국 제품을 사용하고 있으나 갈수록 미세 패턴이 요구되는 상황에서 초격차 기술을 담보할 수 있는 소재가 절실하다. 비드오리진의 습식 세리아 연마 입자는 바로 토종 기술로 성취한 세계 최고의 연마 입자로서, 현격한 수율 향상을 기대할 수 있고 초격차 반도체 제조기술을 담보할 것으로 기대된다고 남 대표는 밝혔다. 남 대표는 "현재 비드오리진 양산 제품은 다수의 국내외 슬러리 기업이 개발·검증의 단계를 진행하고 있으며 시장 진입을 위해 매진하고 있다"고 했다.

[서정원 기자]