저스템, LGD에 55억원 규모 OLED 제조 장비공급

반도체 장비업체 저스템은 LG디스플레이와 55억원 규모의 고진공 제전장비(VIS) 공급계약을 맺었다고 25일 밝혔다.

고진공 이오나이저시스템은 OLED(유기발광다이오드) 제조공정에서 발색과 발광용 유·무기재료를 고열로 증착하는 공정 전후에 발생하는 정전기를 제거해 주는 장비다. 공정 중에 가스 공급이 필요 없어 압력이 변동되지 않고 빛이 발생하지 않는 이온화 제전 방식이기 때문에 OLED 표면손상을 줄일 수 있다.

저스템은 지난해 부터 VIS장비 양산성 검증을 했고, 이번에 OLED패널 제조 양산라인에 공급하게 됐다. 저스템은 VIS가 OLED 제조공정에서 정전기제어에 필요한 필수장비가 될 것으로 기대했다. 특히 차세대 디스플레이 분야의 소자 고집적화와 고휘도 제품의 고진공 공정환경내 제전을 위한 핵심 장비로도 사용이 가능하다.

하정민 저스템 기술연구소 부사장은 "고해상도 OLED 제조공정에서 제전기술이 더욱 중요해지는 만큼 저스템의 기술력이 높이 평가받게 될 것" 이라고 말했다.

한편 저스템은 반도체 뿐만 아니라 2차전지, 디스플레이, 태양광 등 첨단사업분야에도 수율향상을 위한 제품을 공급하며 사업 다각화를 전개하고 있다.

이재윤 기자 mton@mt.co.kr