저스템, LG디스플레이와 55억원 규모 공급계약…"수율 향상 기여"

저스템이 LG디스플레이에 55억원 규모의 수율개선 제전장비인 고진공 이오나이저 시스템(VIS) 공급계약을 체결했다고 24일 밝혔다.

이 장비는 OLED(유기발광다이오드) 제조공정에서 발색 및 발광용 유·무기재료를 고열로 증착하는 공정 전후에 발생하는 정전기를 제거해 제품의 신뢰성을 높이는 장비다.

반도체 및 디스플레이 제조공정에서 발생하는 정전기는 필수 해결과제다. 기존의 제전방식과 달리 저스템의 VIS는 고진공 환경에서 순수하게 이온만을 생성해 웨이퍼나 유리의 유·무기물 증착 표면을 최대한 손상없이 제전할 수 있다. 고진공 환경의 공정 내 추가적인 가스 공급이 필요 없어 압력이 변동되지 않고, 빛이 발생하지 않는 이온화 제전 방식이어서 OLED 표면손상을 최소화해 기존 공정 환경에 영향을 주지 않고 효율적으로 정전기를 제거할 수 있다.

저스템은 지난해부터 디스플레이 기업과 협업을 진행해 VIS 장비의 양산성 검증을 수행해 왔으며, 이번에 OLED 패널 제조 양산라인에 공급하면서 디스플레이 분야에서도 수율 향상의 높은 기술력을 입증받게 됐다고 설명했다.

저스템은 VIS가 OLED 제조공정에서 정전기제어에 필요한 필수장비가 될 것으로 기대하고 향후 VIS의 본격적인 추가수주와 시장 확대도 전망하고 있다. 특히 차세대 디스플레이 분야의 소자 고집적화 및 고휘도 제품의 고진공 공정 환경 내 제전을 위한 핵심장비로도 사용이 가능하다는 설명이다.

하정민 저스템기술연구소 부사장은 "고해상도 OLED 제조공정에서 제전기술이 더욱 중요해지는 만큼 당사의 기술력이 높이 평가받을 것"이라고 말했다.

저스템은 반도체 분야뿐 아니라 최근 2차전지, 디스플레이, 태양광 등 첨단사업 분야에도 수율 향상을 위한 제품을 시장에 공급하며 사업다각화를 활발히 전개하고 있다.전혜인기자 hye@dt.co.kr