저스템, LGD에 55억 규모 고진공 제전장비 공급

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저스템이 LG디스플레이와 55억원 규모 수율 개선 제전(정전기 제거) 장비 공급 계약을 체결했다고 24일 공시했다.

저스템은 기존 제전장비 공급 규모를 감안할 때 대형 발주에 해당한다고 밝혔다. 회사는 지난해부터 글로벌 디스플레이 기업과 협업해 고진공 이오나이저 시스템(VIS) 양산성 검증을 진행했다. 이번에 유기발광다이오드(OLED) 패널 양산 라인에 공급, 기술력을 인정받았다고 설명했다.

VIS는 OLED 증착 공정 전후에 발생하는 정전기를 제거해 신뢰성을 높이는 장비다. 저스템의 VIS는 기존 제전방식과 달리 고진공 환경에서 순수하게 이온만을 생성해 웨이퍼나 유리 기판의 증착 표면 손상을 최소화할 수 있다. 회사는 고진공 환경의 공정에서 추가적인 가스 공급이 불필요해 압력 변동 없이 정전기를 효율적으로 제거할 수 있다고 강조했다.

저스템은 VIS가 OLED 공정에서 정전기 제어에 필수적인 장비가 될 것으로 기대하고 있다. 향후 시장 확대에 따른 추가 수주도 가능할 전망이다.

하정민 저스템 기술연구소 부사장은 “반도체에 이어 디스플레이에서도 최고의 수율 향상 솔루션을 시장에 공급하게 돼 기쁘다”며 “고해상도 OLED 제조 공정에서 제전기술이 더욱 중요해지는 만큼 저스템 기술력이 높이 평가받을 것”이라고 말했다.

이호길 기자 eagles@etnews.com