저스템, 55억원 규모 디스플레이용 고진공 제전장비(VIS) 수주

글로벌 기업에 대한 기존 대비 대형 수주

[헤럴드경제=김지헌 기자] 반도체 등 첨단산업의 제품 수율향상 솔루션을 제공하는 저스템이 국내 유수의 글로벌 디스플레이기업과 55억원 규모의 수율개선 제전장비 공급계약을 체결했다고 24일 밝혔다.

저스템이 공급하는 고진공 이오나이저시스템(VIS)은 유기발광다이오드(OLED) 제조공정에서 발색 및 발광용 유·무기재료를 고열로 증착하는 공정 전후에 발생하는 정전기를 제거해 제품의 신뢰성을 높이는 장비다. 계약 금액은 55여억원이며 기존 제전장비의 공급규모로 볼 때 대형 발주에 해당된다.

저스템은 지난 2022년부터 국내 유수의 글로벌 디스플레이기업과 협업을 통해 VIS장비의 양산성 검증을 해 왔고 이번에 OLED패널 제조 양산라인에 공급하게 됨으로써 디스플레이분야에서도 수율향상의 높은 기술력을 입증 받았다. 저스템은 VIS가 OLED 제조공정에서 정전기제어에 필요한 필수장비가 될 것으로 기대하고 향후 VIS의 본격적인 추가 수주와 시장 확대도 전망하고 있다.

반도체 및 디스플레이 제조공정에서 발생하는 정전기는 필수 해결과제다. 기존의 제전방식과 달리 저스템의 VIS는 고진공 환경에서 순수하게 이온만을 생성해 웨이퍼나 글래스의 유·무기물 증착 표면을 최대한 손상 없이 제전할 수 있는 장비다. 특히 차세대 디스플레이 분야의 소자 고집적화 및 고휘도 제품의 고진공 공정환경내 제전을 위한 핵심장비로도 사용이 가능하다.

하정민 저스템 기술연구소 부사장은 “반도체에 이어 디스플레이분야에서도 최고의 수율향상 솔루션을 시장에 공급하게 돼 기쁘다”며 “고해상도 OLED 제조공정에서 제전기술이 더욱 중요해지는 만큼 저스템의 기술력이 높이 평가받을 것”이라고 말했다.

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