美 규제 강화 '풍선효과'…中 반도체 장비업계 점유율 확대

현지업체 장비 낙찰 2배로…"기술 발전 예상보다 2년 빨라"

(서울=연합뉴스) 이봉석 기자 = 중국 반도체 장비업체들이 미국의 첨단산업 규제 강화에 따라 자국 내 점유율을 급격하게 늘리고 있다고 로이터통신이 19일(현지시간) 보도했다.

화타이증권이 지난달 182개 입찰업체를 대상으로 분석한 결과 올해 1~8월 중국 파운드리(foundry·반도체 위탁생산) 기업의 전체 장비 입찰 중 절반에 가까운 47.25%를 현지 장비업체들이 따낸 것으로 나타났다.

3~4월 비율이 36.3%였는데 7~8월에는 62%까지 두 배 가깝게 늘어났다.

SMIC와 화훙 같은 반도체 제조업체들이 경쟁적으로 외국산 장비를 자국산으로 대체하면서 나우라와 AMEC 등 현지 업체들이 수혜를 본 것이다.

또 중국 시장조사업체 CINNO에 따르면 올해 상반기 중국 내 상위 10개 관련 장비업체의 매출은 지난해 같은 기간보다 39% 증가한 22억달러(약 3조원)에 달했다.

한 소식통은 "파운드리기업들이 보유한 모든 외국산 장비를 중국산으로 바꿔 테스트하고 있다"면서 "요구에 맞아떨어지면 모두 바꾼다"고 밝혔다.

이는 미국의 규제가 악화할 수는 있어도 완화될 가능성은 작고 시진핑 중국 국가주석이 기술 자립을 촉구한 가운데 산업계에 전환점이 될 것이라는 분석이 나온다.

그뿐 아니라 애널리스트들은 어플라이드 머티어리얼즈나 램리서치 같은 미국 기업들과 세계적으로 경쟁하는 식각(에칭·etching)과 세정 분야에서 중국 업체들의 장비 생산 능력이 점점 더 좋아지고 있다고 평가했다.

특히 AMEC의 일부 장비는 5㎚(나노미터=10억분의 1ｍ) 기술을 이용할 만큼 진보한 반도체의 생산라인에 투입됐다.

익명을 요구한 한 애널리스트는 자신의 예상보다 중국 업체들의 발전이 2년 빠르다고 말했다.

하지만, 반도체 기판에 회로 패턴을 새겨넣는 리소그래피(Lithography·석판인쇄) 같은 공정은 매우 복잡한 광학과 정밀도가 필요해 중국에는 뚫기 어려운 관문으로 남아있다.

중국은 최첨단 반도체를 만드는 데 필요한 극자외선(EUV) 리소그래피 장비 수입이 금지됐고 미국은 나아가 하위 성능의 일부 심자외선(DUV) 장비도 막았다.

화타이증권과 중국 세관에 따르면 올해 들어 8개월간 중국 업체의 리소그래피 관련 낙찰은 단 한 건에 불과했지만, 네덜란드로부터 관련 부품 수입액은 같은 기간 81.2% 증가했다.

다만, 화웨이와 SMIC가 네덜란드기업 ASML로부터 수입 길이 열려있는 DUV 장비를 고도화해 화웨이 메이트60 프로 스마트폰용 7나노 칩을 만드는 등 일부 돌파구도 있었다.

anfour@yna.co.kr

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