'반도체 소부장’ 용인 집결… 차세대 생산기지와 시너지
SK하이닉스 협력사 입주 줄이어
공장 증설·맞춤형 특화시설 짓고
업황 회복세에 수주 대응 총력전
17일 관련 업계에 따르면 SK하이닉스가 주도하는 용인 반도체 클러스터 부지에 파크시스템스와 램테크놀러지, 큐알티, 펨트론 등이 입주를 확정했다. SK하이닉스는 이천과 청주에 이어 용인에서 반도체를 생산하는 방안을 추진한다. 이와 관련, SK하이닉스와 용인시는 처인구 원삼면 일대에 415만6135㎡ 규모로 반도체 클러스터 일반산업단지를 조성하는 중이다.
특히 반도체 클러스터 일반산업단지 내 267만㎡ 규모 산업시설용지에 소부장 협력사들을 위한 공간을 마련할 방침이다. 이에 따라 SK하이닉스와 협력 중인 소부장 기업들이 잇달아 용인 클러스터 입주를 확정 짓고 있다.
우선 파크시스템스는 용인 반도체 클러스터에 1만3216㎡ 부지를 확보했다. 파크시스템스는 사물을 10억분의 1m인 나노미터(㎚) 단위로 정밀하게 측정할 수 있는 원자현미경 사업에 주력한다. 특히 최근 극자외선(EUV) 공정 도입과 함께 반도체 회로선폭이 나노미터 단위로 미세화하면서 국내외 유수 반도체 기업들 사이에서 원자현미경 도입이 활발하다.
파크시스템스는 용인 반도체 클러스터와 별도로 과천지식정보타운에 신사옥을 착공했다. 신사옥은 5만4173㎡ 규모로 오는 2016년 상반기 완공할 예정이다.
파크시스템스 관계자는 "과천 신사옥 입주를 추진 중이지만, 향후 원자현미경 수주 물량과 함께 사업 성장성을 고려할 때 추가로 시설을 확보할 필요가 있어 용인 반도체 클러스터에 용지를 분양 받았다"고 말했다.
램테크놀러지는 용인 반도체 클러스터에 1만4656㎡ 규모로 공장을 신설할 예정이다. 총 555억원을 투입하는 램테크놀러지 용인 공장은 오는 2028년 말 완공할 예정이다. 램테크놀러지는 반도체 웨이퍼(원판) 위에 불필요한 부분을 깎아내는 식각공정에 쓰이는 화학물질인 식각액에 주력한다. 식각한 뒤 남아 있는 감광제 등을 제거하는 화학물질인 박리액도 생산한다.
램테크놀러지 관계자는 "과감한 투자를 통해 고객 맞춤형 특화 스마트팩토리 시설을 구축, 생산 능력 확대와 품질 향상 등을 달성할 계획"이라며 "반도체 소재 사업을 다각도로 추진해 경쟁력을 더욱 끌어올릴 것"이라고 말했다.
큐알티는 용인 반도체 클러스터에 입주하기 위해 89억원 가량을 들여 7570㎡ 규모로 부지를 확보했다. 큐알티는 반도체 신뢰성 평가와 종합분석 등 사업에 주력한다. 특히 큐알티로부터 반도체 인증을 받을 경우 해당 제품은 우리나라를 비롯해 총 95개 국가에서 통용될 수 있다.
큐알티 관계자는 "반도체 시장과 함께 적용 범위가 확장하면서 품질 확보 중요성 역시 높아진다"며 "이에 따라 증설을 통해 신속한 반도체 평가 분석 서비스가 이뤄질 수 있도록 지원하고 나아가 국가 반도체 산업 경쟁력 강화에 기여할 것"이라고 말했다.
반도체 검사장비에 주력하는 펨트론 역시 용인 반도체 클러스터 입주를 확정한 뒤 62억원을 들여 공장 부지를 확보했다. 앞서 지난 2021년 인천 남동공단에 생산 설비를 확충한 펨트론은 이번 용인 공장 부지 추가 매입을 통해 반도체 사업 확장에 따른 수요에 대응한다는 방침이다. 펨트론은 인천 남동공단과 용인 공장을 합칠 경우 연간 5000억원까지 매출을 올릴 수 있는 규모가 된다.
업계 관계자는 "최근 메모리반도체 가격이 반등하는 등 내년에 반도체 경기가 회복할 조짐을 보인다"며 "이에 따라 반도체 소부장 기업들 사이에서 앞으로 늘어날 수주 물량에 대응하기 위해 SK하이닉스 용인 반도체 클러스터 입주를 포함해 공장을 증설하려는 움직임이 감지된다"고 말했다.
butter@fnnews.com 강경래 기자
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