한남대 김운중 교수 '국가반도체연구실 핵심기술개발사업' 선정

한남대 김운중 교수 *재판매 및 DB 금지

[대전=뉴시스]유순상 기자 = 한남대학교는 화학과 김운중 교수 연구실이 과학기술정보통신부와 한국연구재단 지원 대형 국책사업 '2023 국가반도체연구실 핵심기술개발사업'에 선정됐다고 5일 밝혔다.

반도체 분야 삼극특허(미·일·유럽에 모두 등록) 확보와 전문 인력 양성을 위해 대학 반도체 연구실의 중장기 연구개발을 지원하는 대규모 국책사업(총 250억원 규모)으로 전국에서 10개 실험실이 선정됐다.

김 교수 연구실은 오는 2027년까지 25억원(정부지원금 22억5000만원+지방자치단체지원연구개발비 2억5000만원)을 지원받아 연구를 수행한다.

김 교수는 국내 최초로 스크래치가 없는 친환경 반도체 평탄화 공정(CMP)을 위한 슬러리 개발과 상용화에 성공했다.

이번 사업 선정에 따라 기존 CMP 연구에서 나아가 차세대 CMP 슬러리 제품을 개발하고 미국과 일본 글로벌 경쟁사와 동등 수준 이상의 기술력을 확보할 계획이다.

김 교수는 "현재는 국내 이액형 CMP 슬러리가 주축이지만, 최근 중국과 동남아에서는 일액형 CMP 슬러리에 대한 관심이 높다“라며 ”이번 사업을 통해 국산화해 초미세 공정 CMP 슬러리의 분산 안정화 원천기술과 특허를 확보, 글로벌 반도체 기술 경쟁에서 우위에 서겠다”고 밝혔다.

김 교수는 최근 5년간 26건의 국책사업을 수주, 연구비 수주액이 70억여원에 이른다. 최근 10년간 특허등록 50건, PCT국제특허출원 4건, 특허출원 57건에 이르는 연구 업적을 보유하고 있다.

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