[특징주] 지오엘리먼트, 日 의존 '액상 프리커서 기화 공급장치' 국산화 성공에 강세

지오엘리먼트가 일본에 100% 의존했던 반도체 장비 부품 '액상 프리커서 기화 공급장치'를 국산화했다는 소식에 강세다.

18일 오후 1시25분 현재 지오엘리멘트는 전 거래일 대비 870원(7.538%) 오른 1만2350원에 거래되고 있다.

업계에 따르면 지오엘리먼트는 반도체 칩 제조에 활용되는 퍼니스(furnace) 장비에 장착되는 '대용량 액상 프리커서 기화 공급장치' 개발에 성공했다. 퍼니스 장비는 동그란 반도체 웨이퍼 위에 전자 회로를 새길 수 있도록 얇은 막을 씌우는 장비다.

퍼니스 장비 바깥에서는 챔버 안에 들어갈 가스를 만드는 작업이 이뤄진다. 특히 가스가 되기 전 상태인 액체 프리커서(전구체)를 가열해 기체로 만든 뒤 배관을 통해 챔버로 공급하는 작업이 필요한데 지오엘리먼트가 과정을 수행하는 '액상 프리커서 기화 공급 장치'를 국산화 한 것이다.

지오엘리먼트가 개발한 이번 제품은 150℃ 온도까지 오르며 프리커서를 가열할 수 있다. 가열 온도가 높을수록 프리커서의 기화 속도가 빨라지고 웨이퍼 공정 속도까지 올라간다. 또한 부품의 크기와 무게를 줄이면서 프리커서가 들어갈 수 있는 용량을 극대화했다.

이번 연구개발 성공한 지오엘리먼트는 향후 외국 반도체 장비 회사와의 협력은 물론 삼성전자, SK하이닉스 등 부품 교체 수요가 있는 칩 제조 회사에까지 제품을 공급하는 것을 목표로 하고 있다.

이지운 기자 lee1019@mt.co.kr
<저작권자 ⓒ '성공을 꿈꾸는 사람들의 경제 뉴스' 머니S, 무단전재 및 재배포 금지>