HB솔루션, 반도체 계측 장비 시장 진출

[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 디스플레이 검사장비 기업 HB솔루션은 '나노 마이스' 장비를 통해 반도체 계측장비 시장에 본격 진출한다고 7일 밝혔다. 회사 측은 디스플레이 계측장비 경험과 국내 반도체 제조업체와의 국책과제 수행이력을 기반으로 사업·매출 다각화에 박차를 가할 계획이다.

회사 측에 따르면 HB솔루션이 개발에 성공해 글로벌 반도체·파운드리 회사에 공급을 추진하는 장비는 '나노 마이스(Nano-MEIS)' 장비다. 중에너지 이온을 이용해 반도체 제조 공정의 산화막 등 박막 조성·두께를 비파괴적으로 분석할 수 있다. 산화막의 조성·두께 뿐만 아니라 나노박막, 양자점, 3차원 나노 소재 등을 원자층 분해능으로 분석 가능하다.

나노마이스 장비가 적용되는 반도체 초정밀 물성 계측분야는 반도체 공정기술 난이도 증가로 수요처가 빠르게 확대되고 있다. 물성계측이 필요한 다른 공정으로의 확대도 용이해 시장 확장성도 매우 크다고 회사 측은 설명했다.

현재 나노마이스 장비는 국내 메모리 회사에서 성능 평가를 진행 중이며 상당한 진척을 거두고 있다. 국내 최대 반도체 회사 또한 해당 장비에 적극적인 관심을 보이고 있고 빠른 시일 내에 성능평가에 돌입할 예정이라는 설명이다.

이재원 HB솔루션 대표이사는 "반도체 물질의 성분에 대한 절대 정량 분석과 두께를 정밀하게 측정하는 것은 반도체 소자의 신뢰성 개선과 수율 관리의 핵심"이라며 "HB솔루션의 나노마이스 장비는 나노미터(㎚) 단위보다 더욱 정밀한 초나노미터인 옹스트롱(Angstrom) 단위까지 표면분석, 두께 분석이 가능하고 메모리, 비메모리에 모두 적용이 가능해 시간이 지날수록 중요성은 더욱 커질 것"이라고 강조했다.

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