`반도체 독립` 외친 中… "자체개발 장비 연내 도입"

미국이 중국을 향한 반도체 수출 통제 범위를 첨단 반도체에서 범용(레거시) 반도체 장비까지 확대해 나가는 가운데, 중국이 자체 기술로 핵심 반도체 장비를 생산할 것이라는 전망이 나왔다.

2일(현지시간) 홍콩 사우스차이나모닝포스트(SCMP)는 중국 현지 매체들을 인용해 중국의 국영 반도체 기업인 상하이마이크로일렉트로닉스(SMEE)가 자체 개발한 첫 반도체 28나노(㎚) 노광장비를 인도할 것으로 전망된다고 보도했다.

미국은 지난해부터 중국의 '반도체 굴기'를 견제하기 위해 반도체 첨단 생산에 필요한 장비에 대한 수출을 통제했고, 최근에는 네덜란드와 일본 등의 반도체 주요 장비사들까지 이와 같은 수출 규제에 동참하기 시작했다.

이에 중국 정부는 반도체 장비 자급률을 높이기 위해 기업들을 지원했고, 그 결과가 나타난 것으로 풀이된다.

노광장비는 반도체 칩에 회로를 새기기 위해 필요한 장비다. SMEE는 중국의 노광장비 제작사로, 중국의 반도체 기술 자립 계획을 위한 핵심 회사다. SMEE가 이번에 만든 장비는 범용으로 쓰이는 심자외선(DUV) 기술을 적용했다.

삼성전자와 TSMC 등은 한 자릿수 나노 공정을 구현하기 위해 더 미세한 회로를 그릴 수 있는 극자외선(EUV) 장비를 쓰고 있는데, 이 장비는 네덜란드 ASML이 독점 생산하고 있다.

미국 정부는 ASML의 장비에 미국산 부품이 다수 사용된다는 점을 근거로 중국에 ASML의 EUV 장비 반입을 제한하고 있다. 그러자 중국은 레거시 반도체의 생산을 큰 폭으로 늘렸다.

그 결과 미국과 유럽의 주요 반도체 제조 장비사들인 ASML, 램리서치, 어플라이드머티어리얼즈(AMAT) 등의 매출 내 중국 비중은 반도체 장비 수출 통제 이후에도 여전히 높은 수준을 유지하고 있다.

블룸버그통신의 보도에 따르면, 미국과 유럽연합은 중국의 이 같은 움직임에 대응해 범용 반도체에 대한 새로운 규제 도입을 논의하고 있다.

업계에서는 이 같은 조치가 오히려 중국의 반도체 자립도를 높이는 결과가 나올 것으로 우려했으며, SMEE의 이번 노광장비 개발 역시 이를 방증하는 것으로 보고 있다. 지난달 미국반도체산업협회(SIA)는 홈페이지에 성명을 올려 "공급망이 붕괴되고, 시장에 상당한 불확실성을 야기하며, 중국의 보복이 확대될 위험이 있다"며, 중국에 대한 추가적인 제한 조치를 자제해 줄 것을 요청했다.

중국의 이 같은 움직임은 국내 장비 업체들의 수출 감소 등 직접적인 피해로 이어질 것으로 우려된다.

한국수출입은행 해외경제연구소는 최근 '미중 반도체 전쟁에 따른 산업재편 및 영향' 보고서에서 "단기적으로 대중국 반도체 판매는 큰 영향이 없으나 장비 수출은 영향을 받을 수 있다"며 "중국이 반도체에서의 기술 격차를 축소하기 위해 해외기업 대상으로 기술탈취가 심화될 가능성도 있다"고 주장했다.

전혜인기자 hye@dt.co.kr