[과기원NOW] UNIST, 저온에서 한 층씩 쌓아만드는 2차원 반도체 공정법 개발 外

서준기 UNIST 교수 연구팀의 연구 결과는 나노과학 학술지 'ACS 나노'에 7월 11일 게재됐다 . UNIST 제공

■ 울산과학기술원(UNIST)은 서준기 반도체 소재·부품 대학원 및 신소재공학과 교수 연구팀이 저온에서 원자층을 한 층씩 쌓아 만드는 '원자층 증착법 기반 텔레륨 박막 증착법'을 개발해 나노과학 분야 국제 학술지 'ACS 나노'에 7월 11일 온라인 게재했다고 1일 밝혔다. 송봉근 홍익대 교수, 정후영 UNIST 교수 연구팀과 함께한 이번 연구에서 50도의 낮은 공정온도에서 3차원 구조의 표면에 얇고 균일한 막 코팅과 정교한 두께 조절이 가능한 박막을 만들 수 있는 차세대 공정법을 개발됐다. 해당 기술은 트랜지스터, 정류기, 선택소자 등 다양한 전자 소자에 활용될 것으로 전망된다.

■ 포스텍은 박성민 IT융합공학과·기계공학과 교수 연구팀이 컴퓨터 비전 기술을 광학 센서에 접목해 '소프트 스트레인 센서'의 한계를 극복하는 방법을 개발했다고 1일 밝혔다. 스트레인 센서는 거동이 불편한 환자의 재활을 위한 웨어러블 기기에 사용되는 센서로, 특정 부위의 물리적 변화를 전기적 신호로 변형해 정보를 분석한다. 이를 쉽게 구부러지며 가벼운 소재로 만든 것이 소프트 스트레인 센서다. 그러나 기존 소프트 스트레인 센서는 온도와 습도 등 외부 요인에 취약했다. 연구팀은 광학 패턴을 센서에 적용, 센서의 성능을 저하시키는 요소를 배제하여 내구성을 높였다. 또 2축 방향만 감지하는 기존 센서들와 달리 3축 회전 동작까지 감지할 수 있다. 

■ 대구경북과학기술원(DGIST)은 인수일 에너지공학과 교수 연구팀이 지구온난화의 주요 원인인 이산화탄소를 에너지 자원인 메탄으로 전환하는 고효율 광촉매를 개발해 국제 학술지 '카본 에너지'에 7월 온라인 게재했다고 1일 발표했다.  연구팀은 나노입자 조촉매와 루테늄 도핑 조성을 최적화해 광촉매의 광학·전기적 물성 성능을 극대화했다. 또 표면을 과산화수소로 처리해 하이드록시기를 형성, 이산화탄소 흡착량을 높여 메탄 전환 성능을 확보했다. 광촉매는 태양광 화합물 기술에서 태양광에 반응해 이산화탄소를 메탄으로 전환하는 데 쓰인다. 연구팀은 이를 통해 매년 꾸준히 증가하는 대기 중 이산화탄소의 농도를 억제하고 탄소포집 및 활용 기술에 응용할 수 있을 것이라고 내다봤다. 

[박건희 기자 wissen@donga.com]