일, 오늘부터 ‘반도체 장비’ 중국 수출 규제…“미국 요구에 동참”

첨단 반도체 장비 23개 품목
중국 내달부터 갈륨 수출 통제 ‘맞불’

세계적 반도체 장비 업체인 도쿄일렉트론 모습. 누리집 갈무리.

일본 정부가 미국과 보조를 맞춰 첨단 반도체 장비의 대중국 수출 제한을 23일부터 시행하기 시작했다. 세계 첨단 반도체 장비 시장을 이끄는 미국·일본에 이어 조만간 네덜란드도 동참할 예정이어서 중국에 상당한 타격이 예상된다.

일본 경제산업성은 23일 첨단 반도체 분야 23개 품목을 수출규제 대상에 추가한 ‘외환 및 외국 무역법’ 성령(시행령)을 이날부터 시행한다고 밝혔다.

수출규제 대상은 섬세한 회로 패턴을 기판에 기록하는 노광장치 및 검사에 사용하는 장비 등 23개 품목이다. 폭이 14나노(나노미터·1nm는 10억분의 1m) 이하 첨단 반도체를 만드는데 필요한 핵심 장비들이다. 시행령 개정에 따라 한국·미국과 같은 우방국 등 42개 국가·지역을 제외하고는 품목마다 수출할 때 개별 허가를 받아야 한다. 중국의 경우 절차가 상당히 길어지거나 수출이 아예 불가능해진다. <니혼게이자이신문>도 “중국에서 적어도 단기·중기적으로 슈퍼컴퓨터나 인공지능(AI) 등에 사용될 최첨단 반도체를 제조하는 것은 불가능할 것”이라고 내다봤다.

시행령 수출규제 대상에 특정 국가를 명시하지 않았지만, 중국을 직접 겨냥한 조치다. 미국은 지난해 10월 인공지능(AI), 슈퍼컴퓨터 개발로 이어지는 반도체 기술과 장비 등의 대중국 수출을 사실상 금지하고, 핵심 제조업체가 있는 일본과 네덜란드에 동참을 요청했다. 세계적 반도체 노광장비 기업인 에이에스엠엘(ASML)이 있는 네덜란드는 2019년부터 최첨단 반도체 생산에 필요한 극자외선(EUV) 노광 장비 중국 수출을 금지했다. 네덜란드는 오는 9월 1일부터는 일부 첨단 반도체 노광 장비에 대한 수출 허가제를 실시할 예정이다.

도쿄일렉트론을 비롯해 스크린홀딩스, 니콘 등 10곳 정도의 제품이 이번 일본 수출 규제 조처 대상이 될 예정이다. 중국은 반도체 제조장치를 일본에서 가장 많이 수입하고 있다. 국제무역센터의 자료를 보면, 지난해 중국의 반도체 제조장치 수입액을 보면, 일본이 차지하는 비율이 약 30%로 가장 높다. 미국(15%), 한국(13%) 등이 뒤를 따르고 있다.

<한겨레> 자료사진

매출 감소가 예상되는 일본 반도체 장비 기업들은 첨단 장치 이외 물품의 수출을 확대하기 위해 발 빠르게 움직이고 있다. <니혼게이자이신문>은 “자동차와 가전 등에 쓰이는 기존 반도체 제조 장치는 수출이 가능하다. 중국도 미국의 규제 강화에 따라 반도체 제조라인을 첨단에서 레거시(구형) 반도체용으로 전환했다”고 전했다.

중국도 맞대응 조치로 내달부터 반도체 재료 등에 쓰이는 갈륨·게르마늄의 수출 통제에 나서는 등 미-중을 중심으로 한 ‘반도체 갈등’이 격화될 것으로 보이다. 중국은 지난 5월 미국 반도체 기업 마이크론을 상대로 “안보 심사에 통과하지 못했다”며 중요 정보 인프라 운영자에 대해 이 회사 제품 구매를 중지하도록 했다. 다음달 1일부터는 반도체 재료 등에 쓰이는 갈륨과 게르마늄에 대한 수출을 허가제로 바꿀 예정이다. 중국은 두 광물 세계 생산량의 80% 정도를 차지한다.

중국 정부 관계자는 <아사히신문>에 “미국과 일본이 공격을 계속한다면 향후 희토류 광석의 수출을 줄일 가능성도 배제하지 않는다”고 경고했다.

도쿄/김소연 특파원 dandy@hani.co.kr