'반도체 세정장비' 기술 中에 넘긴 전 연구원 1심 징역 5년에 검찰, 항소

(수원=뉴스1) 배수아 기자 = 검찰이 국가핵심기술 '초임계 반도체 세정 장비' 제조 기술을 중국에 유출한 세메스 전 연구원 등의 1심 판결에 불복해 항소했다.

수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부(부장검사 박진성)는 전날(17일) 부정경쟁방지법 위반 등의 혐의로 구속기소된 세메스 전 연구원 A씨(48·남) 등의 1심 판결에 대해 항소했다고 밝혔다.

지난 11일 수원지법 형사15부(이정재 부장판사)는 부정경쟁방지법 위반 등 혐의로 구속기소 된 세메스 전 연구원 A씨에게 징역 5년에 벌금 5억원을 선고했다.

재판부는 또 범행에 가담한 기술 유출 브로커 B씨와 세메스 협력사 대표 C씨 등 4명에게 징역 2∼4년씩 선고하고, 이들에게 각각 벌금 300만원∼3억원을 내라고 주문했다. 앞서 검찰은 A씨에 대해 징역 15년에 벌금 10억원을 구형한 바 있다.

검찰은 "범행이 매우 중대하고 기술 유출로 인한 피해규모가 막대하며, 피고인들 대부분이 범행을 부인하며 반성하고 있지 않다"며 항소 이유를 밝혔다.

A씨는 세메스를 그만두고 2019년 다른 회사를 설립한 뒤 2021년 6월 세메스가 세계 최초로 개발한 '초임계 반도체 세정 장비' 핵심 도면을 C씨로부터 취득해 브로커 B씨를 통해 중국에 유출한 혐의로 기소됐다.

C씨는 A씨에게 초임계 도면을 넘겨주는 대가로 38억원의 투자금을 받았다. 브로커 B씨는 16억원을 받았다.

초임계 세정장비는 초임계(액체와 기체를 구분할 수 없는 상태) 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비다. 이 기술은 산업통상자원부가 지정한 국가핵심기술이다.

A씨는 지난해 9월 중국 민간 반도체업체에 1대당 248억원인 초임계 세정장비 10대를 납품한 뒤 기술을 이전하기로 협약했다. 하지만 검찰 수사가 시작되면서 실제 장비 납품은 한 대도 이뤄지지 않았다.

A씨는 함께 기소된 세메스 전 연구원과 공모해 2021년 5∼7월 세메스가 일본에 이어 세계 2번째로 개발한 '매엽식 인산 세정장비 기술 정보'를 자신이 운영하는 회사 내부 직원들에게 누설한 혐의도 있다.

인산 세정장비는 인산 약액을 이용해 반도체 웨이퍼를 1개씩 세정하는 장비다.

sualuv@news1.kr

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