에프에스티, EUV 펠리클 탈부착·검사장비 첫 공급...“EUV 펠리클 확산 견인”

에프에스티

에프에스티(FST)가 업계 최초 개발한 극자외선(EUV) 펠리클 장비로 첫 매출 달성에 성공했다. 펠리클은 반도체 노광 공정에 쓰이는 제품으로, 반도체 회로 패턴이 그려진 마스크 손상을 최소화한다. 첨단 반도체 제조에 필수인 EUV 공정에서도 EUV 펠리클 필요성이 점차 늘지만, 아직 도입·운영 중인 반도체 제조사는 많지 않다. 에프에스티 장비는 EUV 펠리클 도입을 용이하게 해 시장 확산을 견인할 것으로 기대된다.

에프에스티는 국내 반도체 제조사로부터 극자외선(EUV) 펠리클 탈부착과 검사 등 핵심 장비를 수주했다고 17일 밝혔다. 지난해 장비 개발을 완료하고 처음으로 수익화에 성공했다. 이번에 수주한 펠리클 마운팅&디마운팅 장비는 EUV 펠리클을 EUV 마스크에 자동 탈부착하는 설비다.

EUV 펠리클은 장당 수억원에 달하는 EUV 마스크를 보호하기 위한 부품이다. 기존에는 펠리클을 마스크에 탈부착 과정 상당수가 수작업으로 이뤄졌다. 오염에 노출되기 쉬울 뿐 아니라 작업 속도도 느려 EUV 펠리클 도입의 걸림돌로 작용했다.

에프에스티 EUV 펠리클 마운팅&디마운팅 장비

EUV 펠리클 탈부착 장비는 이를 100% 자동화했다. 공정 오염 가능성을 줄이고 웨이퍼 작업량을 뜻하는 '스루풋'도 대폭 늘릴 수 있게 됐다. 반도체 제조사 입장에서는 EUV 공정 생산성과 안정성을 동시에 향상시킬 수 있다고 에프에스티는 설명했다.

에프에스티는 EUV 펠리클 인스펙션 장비도 수주했다. EUV 펠리클 핵심 구성 요소인 멤브레인과 프레임의 이물질을 검사하는 장비로, EUV 펠리클 오염도나 수명 등을 확인할 수 있다. EUV 펠리클 교체 주기 등 실증 데이터를 확보하는데 도움이 된다. 반도체 제조사가 EUV 펠리클을 도입하기 위한 환경을 조성할 수 있다는 의미다.

EUV 펠리클 인스펙션 장비는 반도체 제조 공정 뿐 만 아니라 EUV 펠리클 개발 및 생산 업체도 활용할 수 있다. 반도체 제조사 외 여럿 소재·부품 업체로 수요 시장을 넓힐 수 있다는 의미다. 에프에스티 역시 자체 EUV 펠리클을 개발 중인데, 해당 검사 장비를 적극 활용할 방침이다. 기존 반도체 공정 장비와 온도 조절장치, 펠리클을 주력하는 에프에스티가 본격적인 EUV 펠리클 장비 매출을 거둠에 따라 수익 다각화도 가능할 것으로 예상된다.

에프에스티 EUV 펠리클 인스펙션 시스템

에프에스티는 국내외 반도체 제조사의 EUV 공정 라인 확대가 EUV 펠리클 수요를 앞당길 것으로 전망했다. 이에 따라 탈부착 및 검사 장비 공급도 늘 것으로 기대했다. 우선 국내 반도체 제조 시장을 공략한 후 글로벌 시장 공급까지 노릴 계획이다.

에프에스티 관계자는 “EUV 펠리클 검사장비 개발로 현재 회사가 개발 중인 EUV 펠리클 양산성 확보에도 기여하고 개발 속도를 높여 빠른 시장 진입이 가능할 것”이라며 “향후 주요 반도체 제조업계 EUV 공정이 활성화되면 관련 장비 수요도 크게 증가할 것”으로 기대했다.

권동준 기자 djkwon@etnews.com