'초임계 반도체 세정장비' 제조 기술 中유출, 세메스 직원 등 징역형

(경기=뉴스1) 최대호 기자 = 반도체 불량을 줄이는 장비인 '초임계 반도체 세정 장비' 제조 기술을 중국에 유출한 혐의로 재판에 넘겨진 세메스 전 직원 등이 징역형을 선고받았다.

수원지법 형사15부(이정재 부장판사)는 11일 산업기술보호법 위반, 부정경제 방지법 위반(영업비밀국외누설등) 등 혐의로 구속기소된 세메스 전 직원 A씨에게 징역 5년에 벌금 5억원을 선고했다.

또 A씨가 세메스에서 퇴직한 후 2019년 설립한 반도체 장비제조업체 법인에 대해 벌금 10억원을 명령했다.

재판부는 범행에 가담한 기술 유출 브로커 B씨와 세메스 협력사 대표 C씨 등 4명에게 각각 징역 2∼4년에, 벌금 300만원∼3억원을 선고했다.

함께 기소된 세메스 협력사 직원 D씨에게는 범행 자백 및 수사 협조 등을 고려해 징형역의 집행유예를 선고했다.

재판부는 "피고인들이 유출하고 부정하게 사용한 자료들은 (피해 회사가)다년간 연구하고 개발해 얻어낸 성과이고, 일부는 국가핵심기술로 평가된다"고 밝혔다.

이어 "이러한 범죄를 가볍게 처벌한다면 기업이 기술 개발에 매진할 동기가 없어진다"며 "피해 회사의 피해 규모를 당장 명확한 수치로 나타낼 수 없다 해도 손해를 가벼운 것으로 치부할 수 없다"고 선고 이유를 설명했다.

A씨는 2021년 6월 C씨로부터 세메스 회사에서 개발에 성공한 초임계 반도체 세정장비 핵심도면을 부정취득 한 뒤, 브로커를 통해 중국에 누설한 혐의로 기소됐다.

또 같은 해 5~7월 세메스에서 개발한 매엽식 인산 세정장비 기술 정보를 부정사용해 자신이 설립한 회사 직원들에게 누설한 혐의도 있다. 인산 세정장비는 인산 약액을 사용해 반도체 웨이퍼를 1개씩 세정하는 장비다.

이보다 앞서 A씨는 2019년 7월~2022년 10월 지인의 명의로 설립한 페이퍼컴퍼니를 이용한 끼워넣기 거래를 통해 자신의 회사자금 약 27억원을 횡령한 혐의도 받는다.

A씨는 지난해 5월25일 산업기술보호법 위반 혐의로 구속기소 된 후, 같은 해 11월1일 법원의 보석결정으로 석방됐으나 이 사건 범행혐의로 다시 구속됐다.

당시 A씨는 세메스가 개발한 세정장비 14대를 만들어 710억원을 받고 중국에 넘기는 혐의로 기소됐다. 검찰은 A씨가 기술도면까지 중국에 유출한 사실을 파악하고 압수수색을 통해 이들의 범죄 혐의를 소명했다.

세메스가 개발한 '초임계 반도체 세정장비'는 고온의 황산약액을 사용해 반도체 기판을 세정하는 설비로 기판의 손상을 최소화해 오염물질을 제거하는 기술이다. 이는 반도체 불량을 줄이는 첨단기술로 알려졌다.

sun0701@news1.kr

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