ASML 장비 대중국 추가 수출 규제...EUV 이어 DUV도 제동

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네덜란드 정부가 대중국 반도체 장비 수출 통제에 동참하는 새로운 조치를 단행한다. 극자외선(EUV) 노광장비에 이어 심자외선(DUV) 장비도 중국 수출에 제동이 걸릴 전망이다.

로이터통신 등 외신에 따르면 네덜란드 정부는 자국 반도체 장비 기업이 일부 반도체 생산 설비를 선적할 때 정부 수출 허가를 받도록 의무화하는 조치를 9월 1일부터 시행한다고 발표했다. 안보 이익을 지키는 차원의 규제라고 설명했지만 사실상 대중국 수출 규제로 풀이된다.

외신은 네덜란드 정부가 규제 대상 장비와 업체를 구체적으로 발표하지는 않았지만 자국 반도체 노광장비 제조기업 ASML이 생산하는 DUV 노광장비를 포함했을 것이라고 보도했다. 앞서 네덜란드 정부는 2019년부터 ASML EUV 노광장비 대중국 수출을 금지했으며, 올해 3월에는 그동안 수출을 허용했던 DUV 노광장비에 대한 규제를 예고했다.

ASML은 당초 네덜란드 정부 규제로 DUV 노광장비 신형 제품이 영향을 받을 것으로 예상했지만, 로이터는 구형 제품도 미국 수출 통제 강화로 중국 수출길이 막힐 것으로 보인다고 예상했다.

미국 정부는 지난해 10월 중국에 대한 자국 첨단 반도체와 장비 수출 통제 규제를 발표했다. 최근 반도체 위탁생산(파운드리) 기업 SMIC 공장 등 중국 시설 6곳에 대한 반도체 장비 수출 시 사전 승인을 받도록 하는 새로운 규정을 준비하고 있다.

로이터는 한 소식통을 인용, 미국 정부가 예전보다 낮은 비율의 미국산 부품이 들어간 다른 외국 기업 제품까지 수출 승인을 받도록 할 방침이라며 이르면 7월 말 새 규정이 발표될 것이라고 밝혔다.

ASML 노광장비에도 미국산 부품이 들어가기 때문에 새 규정이 시행되면 DUV 노광장비도 영향을 받을 것이라고 부연했다. 일본의 니콘과 도쿄일렉트론(TEL)도 내달 23일부터 23종 반도체 제조설비에 대한 수출 제한에 들어갈 것이라고 전했다.

중국 측은 즉각 반발했다. 미국에 '다른 나라를 협박해 중국에 대한 반도체 탄압과 포위에 동참토록 했다'고 비판했으며 네덜란드에는 '수출 통제 조치를 남용하지 말고 양국 기업과 쌍방의 공동 이익을 효과적으로 보호하고 글로벌 반도체 산업망과 공급망 안정을 유지해야 한다'고 촉구했다.

박종진 기자 truth@etnews.com