ASML 첨단 반도체 장비 2종, 9월부터 중국 수출길 막힌다

7nm 공정 구현 가능한 첨단 DUV 장비 2종, 규제 대상에 포함돼

(지디넷코리아=장경윤 기자)미국의 대중(對中) 수출 규제에 동참하기로 한 네덜란드가 중국에 대한 압박 수위를 높이고 있다. 지난 2019년 최첨단 장비의 중국 수출을 막은 데 이어, 오는 9월부터는 한 단계 아래의 장비에 대해서도 중국 수출을 제한할 예정이다.

30일 ASML은 네덜란드 정부의 수출 규제에 관한 성명문을 내고 중국에 대한 장비 수출이 제한될 수 있음을 밝혔다.

네덜란드에 위치한 ASML 본사 전경(사진=ASML)

ASML은 반도체 칩에 회로를 새기는 데 필요한 노광장비를 전문으로 제조하는 업체다. 특히 7nm 이하 공정의 핵심인 EUV(극자외선)용 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산할 수 있는 것으로 유명하다. 물론 EUV보다 한 단계 낮은 기술에 속하는 DUV(심자외선) 분야에서도 독보적인 위치를 점하고 있다.

ASML이 반도체 산업에서 중대한 위치를 차지하고 있는 만큼, 미국은 ASML의 장비가 중국으로 수출되지 못하도록 네덜란드 정부와 적극 협의해왔다. 이에 네덜란드 정부는 지난 2019년 EUV 장비의 중국 수출을 금지했다.

이후에도 네덜란드는 지난 3월 ASML의 가장 진보된 DUV 노광장비 역시 중국 수출을 금지하는 방안을 논의했다. 해당 DUV 노광장비는 'TWINCSCAN NXT:2000i'와 후속 모델(NXT:2050i)이다. 이들 장비를 활용하면 7nm 공정을 구현할 수 있다.

중국에 대한 추가 규제를 예고했던 네덜란드 정부는 결국 오늘(30일) 관련 규제를 발표했다.

ASML은 "3월 발표된 바와 같이, 회사의 첨단 DUV 장비 2종은 중국으로 수출 시 네덜란드 정부의 수출 허가를 받아야 한다"며 "새로운 네덜란드 수출 규제는 오는 9월 1일 발효된다"고 밝혔다.

ASML은 이어 "오늘 발표가 ASML의 올해 재무 전망이나 장기 시나리오에는 중대한 영향을 미치지는 않을 것으로 예상한다"며 "네덜란드의 규제는 장비 2종에만 적용된다는 점을 고려하는 것이 중요하다"고 덧붙였다.

장경윤 기자(jkyoon@zdnet.co.kr)