미국·네덜란드, 대중국 반도체 장비 수출규제 더 강화할 듯

EUV 노광장비 규제 이어 DUV 구형 제품까지 수출 막을 듯
미국, 자국 부품 들어간 제품까지 중국 수출 통제

중국에 대한 반도체 장비 수출 제한을 하고 있는 미국과 네덜란드가 추가 조치를 취할 것으로 알려졌다.

로이터 통신 등에 따르면 네덜란드 정부는 30일(현지시간) 세계적인 반도체 노광장비 제조업체인 ASML이 생산하는 심자외선(DUV) 노광장비에 대한 중국 수출 승인 요구조건에 대한 새로운 규정을 발표해 9월쯤부터 적용할 예정이다.

세계적 반도체 노광장비 제조업체 ASML. 로이터연합뉴스

네덜란드 정부는 2019년부터 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 중국 수출을 금지해왔다. 이어 지난 3월에는 그동안 수출을 허용했던 DUV 노광장비에 대한 수출 규제도 예고했다. ASML은 네덜란드 정부의 규제로 DUV 노광장비 가운데 신형 제품들이 영향을 받을 것으로 예상했지만 미국의 수출 통제 강화로 구형 제품들도 중국 수출길이 막힐 것으로 보인다고 로이터는 전했다.

미국 정부가 이르면 7월 말쯤 예전보다 낮은 비율의 미국산 부품이 들어간 다른 기업 제품까지 수출시 승인을 받도록 하는 새로운 규정을 발표할 것이라고 로이터는 전했다.

이에 ASML의 노광장비에도 미국산 부품이 들어가 있기 때문에 새로운 규정이 시행되면 DUV 노광장비 가운데 구형 제품들도 영향을 받게 될 것으로 예상됐다.

또 미국이 검토 중인 추가 규제 대상에 중국 최대 반도체 파운드리(위탁생산)업체인 SMIC(中芯國際·중신궈지) 반도체 공장도 포함돼 있어 이 시설에 대한 수출 승인은 받아들여지지 않을 가능성이 매우 크다고 덧붙였다.

미국은 지난해 10월 중국의 반도체 생산 기업에 대한 미국산 첨단 반도체 장비 판매를 사실상 금지하고 인공지능(AI) 및 슈퍼컴퓨터에 사용되는 첨단 반도체에 대한 수출을 제한하는 수출 통제 조치를 공식 발표했다.

미국이 동맹국에 대중국 수출 통제에 동참할 것을 요구하는 가운데, 일본의 니콘과 도쿄 일렉트론도 다음 달 23일부터 23종의 반도체 제조설비에 대한 수출 제한에 들어갈 예정이다.

베이징=이귀전 특파원 frei5922@segye.com