미·네덜란드, 중국산 반도체 장비 ‘수출 규제’ 강화 나서

[중국의 반도체 맞불]네덜란드, 9월부터 장비 수출 규제 시행할 듯
미국은 자국 부품 쓴 외국 장비도 수출 규제 움직임

세계 최고의 반도체 노광 기술을 보유한 네덜란드 업체 에이에스엠엘(ASML)의 직원들이 노광 장비를 살피고 있다. 펠트호번/ASML 로이터 연합뉴스

미국·일본에 이어 네덜란드가 오는 9월부터 중국에 대한 반도체 장비 수출 규제에 나서고, 미국 정부는 자국산 부품을 사용한 반도체 장비의 중국 수출을 추가로 금지하는 규제안을 7월 중 공개할 예정이라고 ＜로이터＞ 통신이 29일(현지시각) 보도했다.

네덜란드 정부는 30일 반도체 기술의 중국 수출을 금지하는 규정을 발표할 예정이다. 규제 대상에는 세계 최고의 노광 장비 기술을 보유한 업체 ‘에이에스엠엘’(ASML)의 심자외선(DUV) 노광 장비 중 고급 제품이 포함될 것으로 알려졌다.

노광 장비는 레이저로 실리콘 표면에 전자회로를 새겨넣는 것이며, 심자외선 장비는 현재 반도체 제조에 가장 널리 사용되고 있다. 에이에스엠엘은 최첨단 반도체 생산에 필요한 극자외선(EUV) 노광 장비를 세계에서 유일하게 생산하고 있으나, 이 장비는 2019년부터 중국 수출이 금지됐다.

반도체 제조 공정 중 하나인 증착(실리콘에 얇은 박막을 형성하는 것) 장비 업체인 ‘에이에스엠(ASM) 인터내셔널’도 수출 규제 대상에 포함될 전망이다.

네덜란드의 수출 규제 시행 시기는 규정 발표로부터 2개월 뒤인 9월로 예상된다. 이 조처는 지난 1월27일 미국, 네덜란드, 일본 정부의 대중국 반도체 기술 수출 규제 합의에 따른 것이다.

이어 미국 정부는 수출 규제 대상을 자국산 부품을 사용한 반도체 장비로 확대하는 규제안을 마련하고 있다고 통신은 전했다. 한 소식통은 중국 최대 반도체 생산업체인 에스엠아이시(SMIC) 등 6개 반도체 생산 시설에 장비를 공급하지 못하게 하는 내용이 7월 중 나올 것이라고 말했다. 에이에스엠엘은 네덜란드 업체이지만, 미국산 부품을 자사의 장비에 사용하기 때문에 함께 규제를 받을 전망이다.

미국은 중국의 반도체 기술 개발을 견제하기 위해 지난해 10월 자국 기업을 대상으로 주요 반도체 장비와 기술의 중국 수출을 금지했다. 미국은 주요 반도체 장비 업체를 보유한 네덜란드와 일본에 대해서도 같은 조처를 요구했으며, 세 나라는 지난 1월27일 반도체 회로의 선폭이 14나노미터 미만인 반도체 생산용 기술을 중국에 수출하지 않기로 합의했다.

일본은 7월23일부터 반도체 세척, 증착, 노광, 식각(불필요한 박막 제거) 등 반도체 생산 전 과정에 걸친 23가지 장비의 중국 수출을 규제할 예정이다.

신기섭 선임기자 marishin@hani.co.kr