서형탁 아주대 교수, 초고감도·고성능 광센서 개발

신하영 2023. 5. 17. 16:35
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아주대 연구진이 기존 센서보다 성능이 우수한 근적외선 광센서를 개발했다.

상용화되면 자율주행차·지능형CCTV·우주·군사 분야 등에서 활용 가능한 기술이다.

서형탁 교수는 "그동안 구현이 불가능했던 초고감도 근적외선 검출을 새로운 소재·공정 방식을 통해 실리콘 기판 위에서 반도체 호환 공정으로 실현했다는 점에서 학문적·기술적 의의가 있다"며 "이 방식을 응용하면 기존의 실리콘 집적회로 공정에 접목, 우수한 성능의 광센서를 구현할 수 있다"고 설명했다.

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기존 센서보다 성능 우수한 근적외선 광센서
“자율주행차·의료·우주·군사 분야 활용 가능”
사진=아주대

[이데일리 신하영 기자] 아주대 연구진이 기존 센서보다 성능이 우수한 근적외선 광센서를 개발했다. 상용화되면 자율주행차·지능형CCTV·우주·군사 분야 등에서 활용 가능한 기술이다.

아주대는 서형탁(사진) 첨단신소재공학과 교수팀이 이러한 연구 성과를 얻었다고 17일 밝혔다. 이번 연구는 과학기술정보통신부 기초연구사업 지원을 받아 수행됐으며, 쿠마 모히트(Mohit Kumar) 교수(제1저자)와 임석원·김지수 대학원생(공저자)이 참여했다. 연구 결과는 저명 국제학술지(Advanced Materials) 5월호 표지 논문으로 게재됐다.

빛을 전기 신호로 전환하는 광전효과를 기반으로 하는 광센서는 신재생 에너지·정보통신·사물인터넷·광통신 등의 분야에서 필수적으로 사용되는 부품이다. 특히 △자율주행 차량의 전방 센서 △의료 분야의 열화상 측정 △야간 투시를 비롯한 우주·군사 시설 등에서 요긴하게 활용되고 있다.

아주대 연구팀은 집적회로 양산공정에서 기존에 널리 활용되는 원자층 증착 기술을 이용, 이산화바나듐 초박막을 실리콘 기판 위에 구현하는 데 성공했다. 이를 통해 실리콘과 이산화바나듐으로 구성된 포토 다이오드 소자를 만든 것. 이렇게 개발된 센서는 기존보다 우수한 성능을 보였다.

서형탁 교수는 “그동안 구현이 불가능했던 초고감도 근적외선 검출을 새로운 소재·공정 방식을 통해 실리콘 기판 위에서 반도체 호환 공정으로 실현했다는 점에서 학문적·기술적 의의가 있다”며 “이 방식을 응용하면 기존의 실리콘 집적회로 공정에 접목, 우수한 성능의 광센서를 구현할 수 있다”고 설명했다.

신하영 (shy1101@edaily.co.kr)

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