코셈, 이온밀러 융합 전자현미경(CP-SEM) 기술로 NET 획득

이준희 코셈 대표(사진 오른쪽)가 신기술(NET) 인증을 받고 있다/사진제공=코셈

주사현미경(SEM) 및 산업용 융복합장비 전문기업 코셈(대표 이준희)이 이온밀러 융합 전자현미경(CP-SEM)기술로 신기술(NET) 인증을 받았다고 17일 밝혔다.

코셈의 이번 NET 인증은 3번째다. 이 회사는 2007년 설립 후 1년 만인 2008년 대물렌즈 설계 기술로 첫 번째 NET 인증을 받았다. 2014년에는 SEM-EDS 통합 기술로 두 번째 NET를 받은 바 있다.

이번엔 단면 식각 및 표면 폴리싱이 가능한 이온밀러 융합 주사전자현미경(CP-SEM) 설계 및 제작 기술로 세 번째 NET 인증을 받은 것이다. 대기 비개방 상태에서 시료를 가공하고 분석할 수 있는 기술이다. 공기와 접촉 시 수분·산소 반응에 따라 형상 변화와 성능 하락을 유발하는 리튬(Li)이 사용되는 이차전지 전극과 분리막 등의 시료를 분석하는 데 매우 유용하다고 코셈 측은 설명했다.

코셈 관계자는 "이 기술은 단면식각(900㎛/h 이상 @ Silicon) 및 표면 폴리싱이 가능한 '이온밀러 설계기술'과 고분해능의 이미지를 획득할 수 있는 '주사전자현미경 설계기술'을 기반으로 한다"면서 "이온밀러에서 시료의 가공 위치와 주사전자현미경의 분석 위치를 자동으로 일치시키는 자동 시료 이송 장치 구현이 가능한 획기적 기술로 평가받았다"고 말했다.

이어 "이 기술로 이온밀러 융합 전자현미경 시제품을 제작해 상용화에 박차를 가하고 있다"며 "향후 차세대 주력 제품으로 자리 잡고 매출로 이어질 것"이라고 덧붙였다.

박새롬 기자 tofha0814@mt.co.kr