김장호 구미시장 "초순수 실증화 1단계 성공…반도체특화단지 지정돼야"

김장호 구미시장이 15일 초순수 국산화 실증 플랜트 구축에 성공한 SK실트론을 방문해 관계자들의 설명을 듣고 있다. 2023.5.15/뉴스1 ⓒ News1 정우용 기자

(구미=뉴스1) 정우용 기자 = 김장호 경북 구미시장이 '초순수' 국산화 정식공급(1단계)을 앞두고 15일 SK실트론의 초순수 실증플랜트 구축현장을 방문해 초순수 생산·통수 시설을 확인했다.

초순수는 반도체 생산 공정에서 기판인 웨이퍼 표면의 이물질을 세척하기 위해 사용되는 용수로, 세척액이 오염되면 반도체 회로 공정에 치명적인 손상을 줄 수 있기 때문에 미생물, 전해질, 유기물 등 불순물을 거의 '제로(0)' 상태로 제거하는 극정제화 작업을 거쳐 생산된다.

수돗물을 생산하는 정수장 공정이 7단계인데 비해 초순수는 25단계의 공정을 거쳐야 하는 등 세밀하고 복잡한 공정 때문에 일본, 미국, 유럽연합(EU) 등 일부 선진국만 초순수 생산 기술을 갖추고 있다.

현재 삼성전자와 SK하이닉스 반도체 공장 내 초순수 시설은 일본·미국산 장치를 사용하며 일본 초순수 기업들이 설계·분석을 담당한다.

환경부와 한국수자원공사는 초순수 국산화를 위해 SK실트론 구미2공장에 하루 2400톤 규모의 초순수 국산화 실증플랜트 구축을 추진 중이다.

초순수 국산화 실증플랜트는 3단계를 거치는데 1단계 구축 플랜트는 그동안 외국에 의존했던 설계시공을 최초로 국산화하는 과정이고 2단계는 국내 장비를 적용해 초순수를 생하는 것이며 3단계는 디지털 트위 기반 운영시스템 구축으로 운영효율을 극대화하는 과정이다.

SK실트론은 최근 국산화 설계로 지은 초순수 플랜트 구축(1단계)에 성공해 하루 1200톤의 초순수를 웨이퍼공장에 공급할 예정이다.

또 올해 말까지 개발 중인 국내 장비를 적용해 1200톤의 초순수 국산화 플랜트(2단계)를 추가로 구축하고, 플랜트 운영효율 향상을 위한 디지털 트윈 기반 운영시스템을 구축하는 3단계까지 완성할 예정이다.

초순수 국산화 실증 플랜트가 최종 완성되면 초순수 공정의 최대 60%를 국산화할 것으로 기대된다.

구미시는 반도체 산업의 필수 소재인 초순수의 국산화가 구미지역에서 성공함에 따라 반도체 특화단지 지정에 유리하게 작용할 것으로 기대하고 있다.

김장호 구미시장은 "구미의 초순수 국산화 성공은 대한민국 반도체 소재부품 공급망 안정화와 자립화에 도화선 역할을 할 것"이라며 "반도체 소재부품산업 경쟁력 강화를 위해 구미 반도체특화단지 지정이 필요하다"고 강조했다.

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