SK실트론에 이달말 초순수 정식공급…구미 반도체특화단지 탄력

김장호 구미시장, 초순수 국산화 실증플랜트 구축현장 방문

SK실트론 구미공장에 초순수 공급 예정 구미시 제공

(구미=연합뉴스) 진병태 기자 = 반도체 소재기업인 SK실트론 구미공장에 이달말부터 초순수가 정식 공급된다.

김장호 구미시장 등 관계자들은 초순수 국산화 정식공급(1단계)을 앞두고 15일 SK실트론의 실증플랜트 구축현장을 방문해 초순수 생산 시설을 확인하고 관계자를 격려했다.

초순수는 반도체 생산 공정에서 기판인 웨이퍼 표면의 이물질을 세척하기 위해 사용되는 용수로, 세척액이 오염되면 반도체 회로 공정에 치명적인 손상을 줄 수 있기 때문에 초순수는 미생물, 전해질, 유기물 등 불순물을 거의'제로(0)'상태로 제거하는 '극정제화' 작업을 거쳐 생산된다.

수돗물을 생산하는 정수장 공정이 7단계인 데 비해 초순수는 25단계 공정을 거친다. 이런 세밀하고 복잡한 공정 때문에 일본, 미국, 유럽연합(EU) 등 선진국만 초순수 생산 기술을 보유하고 있다.

현재 삼성전자와 SK하이닉스 반도체 공장 내 초순수 시설은 일본·미국산 장치를 사용하며 일본 초순수 기업들이 설계 및 분석을 맡고 있다.

이에 환경부와 한국수자원공사는 초순수 국산화를 위해 SK실트론 구미2공장에 하루 2천400톤 규모의 초순수 국산화 실증플랜트 구축을 추진하고 있다.

초순수 국산화 실증플랜트는 외산 플랜트와의 기술력 비교검증을 위해 총 3단계로 구축 운영할 계획이다.

이번에 정식공급하는 1단계 구축 플랜트는 그동안 외국에 의존했던 설계시공을 최초로 국산화한 플랜트로, 하루에 1천200톤의 초순수를 SK실트론 웨이퍼 공정에 공급할 예정이다.

또 올해 말까지 개발 중인 국내장비를 적용해 1천200톤의 초순수 국산화 플랜트(2단계)를 추가 구축하고, 플랜트 운영 효율 향상을 위한 디지털 트윈 기반 운영시스템을 구축(3단계)해 성능 평가를 완료할 예정이다.

초순수 국산화 실증 플랜트가 완성되면 초순수 공정의 최대 60%를 국산화할 것으로 기대하고 있다.

김장호 구미시장은 "구미에서 시작한 초순수 국산화는 대한민국 반도체 소재부품 공급망 안정화와 자립화에 도화선 역할을 할 것"이라며 "반도체 소재부품산업 경쟁력 강화를 위해 구미 반도체특화단지 지정이 꼭 필요하다"며 관심과 지지를 요청했다.

jbt@yna.co.kr

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