광주과기원, 반도체 핵심기술 ‘극자외선’ 개발 [숏잇슈]

광주과학기술원 김경택 물리광과학과 교수팀이 액체막에 고출력 레이저를 집속시켜 극자외선을 만드는데 성공했다.

극자외선은 파장이 10∼124나노미터에 해당하는 짧은 파장의 빛으로, 반도체 기판에 회로를 그리거나 나노미터 해상도로 물질을 관측하는 이미징 등 정밀한 작업에 활용된다.

연구팀은 액체가 흘러내릴 때 속도와 점도 등 조건이 만족되는 경우 모양이 변하지 않은 상태로 액체가 흘러내릴 수 있다는 점에 주목했다. 고압으로 액체를 내뿜는 두 개의 제트를 충돌시켜서 빠르게 흘러내리면서도 모양을 유지하는 얇은 액체막을 만들고, 이 액체막에 초고출력 레이저를 집속시켜 극자외선을 생성했다.

※[숏잇슈]는 ‘Short IT issue’의 준말로 AI가 제작한 숏폼 형식의 뉴스입니다.

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