'액체막'에 고출력 레이저 이용 극자외선 생성 성공

지스트 김경택 교수 연구팀 개발…산업현장 활용 기대

액체막을 이용한 극자외선 발생 실험 개략도 [지스트 제공. 재판매 및 DB 금지]

(광주=연합뉴스) 김재선 기자 = 지스트(광주과학기술원)는 물리·광과학과 김경택 교수 연구팀이 액체막에 고출력 레이저를 집속(모아서 가둠)시켜 극자외선을 만드는 데 성공했다고 11일 밝혔다.

극자외선은 파장이 10∼124㎚(나노미터, 1㎚는 10억분의 1m)에 해당하는 짧은 파장의 빛이다.

반도체 기판에 회로를 그리거나 나노미터 해상도로 물질을 관측하는 이미징(시각적인 정보 표시) 등 정밀한 작업에 활용된다.

극자외선을 만들기 위해 기존에 활용된 고체는 레이저빔이 한 번만 집속돼도 파괴되기 때문에 높은 반복률(단위 시간당 생성되는 파동이 반복되는 정도)의 극자외선을 만들기 어려웠다.

연구팀은 액체가 흘러내릴 때 속도와 점도 등 조건이 만족하는 경우 모양이 변하지 않은 상태로 흘러내릴 수 있다는 점에 주목했다.

이를 이용해 1kHz(킬로헤르츠, 1초 동안 1천번의 파동)의 높은 반복률로 레이저를 집속해 극자외선을 생성하는 데 성공했다.

김경택 교수는 "액체막을 이용하는 새로운 방식을 최초로 성공했다는 점에서 의의가 있다"며 "초고속 레이저-플라즈마 상호작용 연구와 같은 기초연구뿐만 아니라, 산업현장에서도 활용될 수 있을 것으로 기대한다"고 밝혔다.

연구 성과는 국제 저명 학술지 '네이처 커뮤니케이션스(Nature Communications)'에 4월 22일 게재됐다.

kjsun@yna.co.kr

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