UST, 인공지능 활용 반도체 박막 두께·굴절률 측정불확도 평가

김준호 2023. 4. 27. 17:18
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(대전=연합뉴스) 과학기술연합대학원대학교(UST)는 이준영 석·박사 통합과정학생(한국표준과학연구원 스쿨 정밀측정 전공)이 참여한 연구팀이 기계학습(머신러닝) 알고리즘을 활용해 반도체 박막 두께·굴절률을 측정한 결과의 불확도 평가를 세계 최초로 수행했다고 27일 밝혔다. 사진은 UST-한국표준과학연구원(KRISS) 스쿨 이준영 석·박사 통합과정학생과 진종한 교수. 2023.4.27 [과학기술연합대학원대학교(UST) 제공. 재판매 및 DB 금지]

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