인공지능 활용 반도체 박막 두께·굴절률 측정불확도 평가

과기연합대학원대 학생, 논문서 검증·측정 표준 첫 제시

연구 논문 결과 주요 이미지 [과학기술연합대학원대학교(UST) 제공. 재판매 및 DB 금지]

(대전=연합뉴스) 김준호 기자 = 과학기술연합대학원대학교(UST)는 이준영 석·박사 통합과정학생(한국표준과학연구원 스쿨 정밀측정 전공)이 참여한 연구팀이 기계학습(머신러닝) 알고리즘을 활용해 반도체 박막 두께·굴절률을 측정한 결과의 불확도 평가를 세계 최초로 수행했다고 27일 밝혔다.

연구팀은 박막 두께·굴절률을 측정하기 위해 자체적으로 머신러닝 방식의 인공신경망 알고리즘을 개발한 뒤 결괏값을 알고 있는 샘플을 뜻하는 '박막 인증표준물질'(CRM)을 활용해 이를 검증했다.

또 국제도량형국(BIPM) 기준에 맞춰 측정불확도(측정 결과의 신뢰도를 나타내는 정량적 지표)를 완벽히 평가해 냈다고 UST 측은 설명했다.

이는 '인공지능(AI)을 얼마나 믿을 수 있을지'를 과학적으로 분석·제시한 것으로, 인공신경망 알고리즘을 활용해 측정표준을 제시한 첫 사례라고 덧붙였다.

UST-한국표준과학연구원(KRISS) 스쿨 이준영 석·박사 통합과정학생과 진종한 교수.[과학기술연합대학원대학교(UST) 제공. 재판매 및 DB 금지]

이준영 학생은 "'이미지 분류'나 '자연어 처리'에 활용돼 오던 머신러닝 알고리즘을 '측정' 분야에서 사용하기 위해 국제표준 지침에 따라 측정 불확도 평가를 수행했다"며 "측정학 분야의 다른 연구원들에게 해당 연구의 필요성뿐만 아니라 연구에서 수행된 불확도 평가 절차에 대한 학술 가치를 인정받았다"고 말했다.

과학기술정보통신부 직할 교육기관인 UST는 한국전자통신연구원(ETRI) 등 30개 국가연구소에 교육 기능을 부여해 빅데이터·AI·바이오·항공우주·신에너지 등 과학기술 분야 인재를 양성하고 있다.

kjunho@yna.co.kr

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