예스티, 반도체 고압 어닐링 장비 국책과제 선정

[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 예스티가 국책과제를 통해 차세대 고압 어닐링(annealing·열처리 강화) 장비 개발에 착수한다.

반도체 장비 전문기업 예스티는 산업통상자원부가 주관하는 '차세대 지능형반도체 기술개발 사업(반도체 제조공정 장비)'에 선정돼 '반도체 구조결함 개선용 중수소 고압 어닐링 장비 개발'을 추진한다고 27일 밝혔다.

예스티는 고압 어닐링 장비와 관련해 알파 테스트를 성공적으로 마치고 공정평가를 위한 베타 테스트를 준비 중이다. 이번 국책과제 선정으로 생산성·공정 성능 측면에서 더욱 고도화된 고압 어닐링 장비를 선제적으로 개발할 계획이다.

예스티 관계자는"생산성과 공정 성능이 향상된 차세대 고압 어닐링 장비에 대한 수요 증가가 예상되며 정부 측면에서 이를 해결하고자 국책 과제를 시행하게 됐다"며 "현재 자체 개발 중인 고압 어닐링 장비가 경쟁사 대비 생산성이 뛰어나면서도 가격경쟁력까지 확보했다는 점에서 우수한 점수를 얻어 차세대 고압 어닐링 장비를 개발하는 이번 과제에 선정됐다"고 말했다.

그는 이어 "이번 국책 과제로 어닐링 장비를 고도화하는 한편, 이와 별도로 고압 어닐링 장비에 대한 베타 테스트도 빠른 시일 내에 완료해 연내 장비 공급을 진행하는 게 목표"라며 "기존 장비 대비 성능과 가격 경쟁력이 높은 고압 어닐링 장비를 개발해 현재의 독점적 시장구조를 바꿔 나가겠다"고 덧붙였다.

한편 이번 국책과제는 정부가 총 30개 사업에 286억원의 예산을 투입해 진행하는 대규모 연구개발 사업으로, 예스티는 이미 상용화에 성공해 제품을 판매 중인 경쟁사와 경합한 결과 70억원의 연구개발비 지원 사업 주체로 단독 선정됐다.

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