반도체·디스플레이·태양광 모두 강한 주성엔지니어링

반도체 웨이퍼 위에 원자층 막 형성 ALD 첫 개발
반도체 증착 기술 응용해 디스플레이 PE CVD 진출
태양광은 차세대 '탠덤' 장비 준비 중

주성엔지니어링 용인R&D센터 전경. 주성엔지니어링 제공.

[파이낸셜뉴스] 주성엔지니어링은 1993년에 설립한 이후 반도체 증착장비 등 분야에서 글로벌 경쟁력을 확보했다는 평가를 받는다.

주성엔지니어링이 처음 선보인 장비는 원자층증착장비(ALD)로 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 물질을 원자층 단위로 정밀하게 입히는 기능을 한다. 특히 최근 반도체 회로선폭이 10억분의 1m인 나노미터(㎚,) 수준으로 미세화하면서 반도체 증착공정에 있어 없어서는 안 될 장비로 꼽히고 있다. 주성엔지니어링은 현재 SK하이닉스 등 국내외 유수 반도체 업체들과 원자층증착장비 등에서 긴밀한 협력을 이어가고 있다.

주성엔지니어링이 두 번째로 진출한 분야는 디스플레이 장비다. 우선 플라즈마를 이용해 액정표시장치(LCD) 기판(마더글라스) 위에 필요한 물질을 정밀하게 입히는 플라즈마 화학증착장비(PE CVD) 등을 국내외 유수 디스플레이 업체들에 공급한다. LCD에 이어 차세대 디스플레이로 각광 받는 유기발광다이오드(OLED) 장비 분야에도 진출했다. OLED 장비로는 전기적 신호를 제어하는 'TFT' 장비와 OLED 기판을 수분과 공기 등 외부 자극으로부터 보호하기 위해 봉지를 입히는 봉지증착장비(인캡슐레이션) 등을 보유했다.

주성엔지니어링이 반도체와 디스플레이에 이어 주목하는 분야는 태양광 장비다. 통상 태양광 발전소는 빛을 받아 전기로 바꾸는 장치인 태양전지(솔라셀)가 기본 단위인데 주성엔지니어링은 태양전지 제조에 필요한 증착장비를 만든다. 주성엔지니어링은 현재 반도체 초미세 공정과 디스플레이 대면적 증착을 융·복합한 기술을 바탕으로 35% 이상 효율을 구현할 수 있는 차세대 '탠덤'(Tandem) 장비 출시 준비에 한창이다.

주성엔지니어링은 지난해 반도체와 디스플레이, 태양광 장비에서 고르게 실적을 내면서 사상 최대 매출액인 4379억원을 기록했다. 같은 기간 영업이익 1239억원을 냈으며 이익률은 28%에 달했다.