한성크린텍, 'K-초순수' 개발…SK실트론 웨이퍼 공정 공급

836억 규모 SK실트론 대용량 초순수 EPC 사업 수주

이엔코퍼레이션은 자회사 한성크린텍이 '고순도 공업용수(초순수)'의 국산화를 통한 기술 자립화에 성공했다고 12일 발표했다.

한성크린텍은 2021년 7월부터 초순수 생산공정 국산화 플랜트 기술개발 국책과제에 참여했다. 이후 1단계 일평균 1200톤 초순수 실증플랜트를 구축하고 시운전을 마무리한 뒤 반도체용 초순수 공급에 적합한 수질검사 등 성능검증을 완료했다.

실증플랜트에서 생산되는 K-초순수는 지난 10일부터 SK실트론의 구미 반도체 웨이퍼 공정에 시범 공급되고 있다. 한성크린텍은 다음 달부터 본격적으로 SK실트론에 K-초순수를 공급할 예정이다.

회사 측은 이러한 초순수 국산화 실증플랜트 성공적 수행 경험을 앞세워 경쟁사인 일본 업체를 제치고 SK실트론으로부터 대용량 초순수 제조설비의 설계부터 기자재 조달 및 시공 전반에 걸쳐 836억 규모의 수주를 이뤄냈다.

한성크린텍은 반도체 공정의 필수재인 초순수 핵심기술과 함께 수처리 공정 전반의 EPC(설계·조달·시공) 역량을 보유하고 있다.

이엔코퍼레이션 관계자는 "한성크린텍의 국산 기술로 제조된 초순수를 성공적으로 SK실트론에 공급했다"며 "그동안 일본 업체가 독점하던 초순수 시장에서 기술 자립화와 반도체 소재·부품·장비 독립에 앞장서 나가겠다"고 말했다.

한편 이엔코퍼레이션의 100% 자회사인 한성크린텍은 자회사로 국내외에서 산업용 수처리 전문기술기업의 역량을 입증하고 있다. 헝가리와 베트남에 법인을 설립한 뒤 매출 다각화를 위해 해외사업에도 집중하고 있다. 인도네시아 롯데케미칼 해수담수화 플랜트 사업과 베트남 엠코테크놀로지 수처리 설비공사, 헝가리 SK온 2차전지 공정 공조용 설비 수주 등 각종 해외 프로젝트를 수행했다.

배성수 기자 baebae@hankyung.com

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