가시광선·자외선 모두 제어 가능한 광학 소자 프린팅 공정 개발

기사내용 요약
한국연구재단, 노준석·이헌 교수 공동연구 지원
매우 얇고 가벼운 메타표면, 저비용·고효율 가공

[대전=뉴시스] 노준석·이헌 교수팀이 제작한 메타표면 실제 구조 및 고효율 홀로그램 구현 사진. *재판매 및 DB 금지

[대전=뉴시스] 김양수 기자 = 국내 연구진이 가시광선은 물론 자외선 영역까지 빛 제어가 가능한 '메타표면'을 가공하는 저비용·고효율 프린팅 공정을 개발했다.

한국연구재단은 노준석 포항공과대 교수와 이헌 고려대 교수팀이 공동연구를 통해 수십 ㎚(나노미터)급 해상도의 메타표면을 고굴절 재료를 이용해 도장을 찍듯이 간단히 프린팅하는 가공기술을 개발했다고 5일 밝혔다.

매우 얇은 두께로 특정 빛을 자유자재로 제어할 수 있는 차세대 광소자인 메타표면은 빛의 파장보다 작은 구조체를 주기적으로 배열한 인공물질로 원하는 파장의 빛을 자유롭게 제어할 수 있으며 매우 얇고 가볍다.

하지만 가시광선에서 심자외선(Deep UV) 영역으로 갈수록 빛의 파장이 짧아지기 때문에 메타표면 구조체 제작을 위해서는 초정밀 공정기술이 요구된다.

기존 극자외선 리소그래피 공정은 비용이 천문학적이며 고해상도의 전자빔리소그래피 공정은 속도가 매우 느려 메타표면 실용화에 어려움이 있었다.

이번에 공동 연구팀은 지르코니아(ZrO₂) 나노입자가 첨가된 고굴절 레진을 개발한 뒤 정밀한 전자기학 설계기술로 고성능 자외선 메타표면을 설계하고 나노임프린트(NIL) 공정을 이용해 메타표면을 구현했다.

지르코니아는 내구성과 화학적 안정성이 높고 인체에 무해해 생체용 세라믹재료로 주로 쓰이며 나노임프린트는 나노소자 패턴을 웨이퍼나 필름 기판에 찍어내는 기술로 간단한 공정으로 첨단 미세회로 제작이 가능하다.

특히 연구팀은 지르코니아 나노입자의 가시광 파장 영역에서 연구되던 활용도를 자외선 영역까지 확장해 해당 물질의 실용도를 대폭 높였다.

시험 결과 해당 공정으로 구현된 메타표면은 자외선(325㎚) 및 심자외선(248㎚) 파장에서 각 72.3%와 48.6%의 높은 빛 제어 효율을 달성해 고성능 메타표면의 실용적 생산 가능성이 입증됐다.

과학기술정보통신부와 연구재단이 추진하는 미래유망융합기술파이오니어사업 지원으로 수행된 이번 연구의 성과는 광학분야 국제학술지 '빛:과학과 응용(Light: Science & Applications)'에 지난달 8일 게재됐다(논문명:One-step printable platform for high-efficiency metasurfaces down to the deep-ultraviolet region)

노준석 교수는 "이번 연구를 통해 개발된 메타표면의 실용적 제작 기술은 제어 가능한 빛의 파장 범위를 확대하고 프린팅 방식의 빠른 생산성을 동시에 확보했다"며 "고성능 메타표면의 저비용 생산을 통해 메타표면 실용화를 앞당기는 교두보가 될 것"이라고 말했다.

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