'반도체장비 세계1위' 어플라이드 머티어리얼즈, 전자빔 기술 공개
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전 세계 반도체장비 시장에서 점유율 1위를 기록하는 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)는 13일 그랜드 인터컨티넨탈 서울 파르나스에서 신제품 발표 기자간담회를 열어 미세한 반도체 결함을 찾아내는 CFE 전자빔 기술 및 관련 제품을 소개했다.
반도체 제조사들은 크기가 너무 작아 광학 시스템으로 확인되지 않는 결함을 검출 및 분류하기 위해 전자빔 기술을 사용한다.
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"공정 미세화..높은 수준의 결함 검출 요구"
"칩 개발·생산속도 향상 기대"
[이데일리 최영지 기자] “3차원(3D) 반도체 등 구조가 점점 더 복잡해지고 있는 데다 EUV(극자외선) 공정을 통해 패턴도 미세해져 계측과 검사 기술의 수준도 높아져야 하는 상황입니다. 자사의 냉전계 방출(CEF) 전자빔(eBeam) 기술로 나노미터 단위의 숨겨져 있는 부분의 결함까지 검출할 수 있습니다.”(이석우 어플라이드 머티어리얼즈 코리아 기술담당 총괄)
반도체 제조사들은 크기가 너무 작아 광학 시스템으로 확인되지 않는 결함을 검출 및 분류하기 위해 전자빔 기술을 사용한다. 이석우 총괄은 “전자빔 시장은 지난 3년간 95% 증가했다”며 “이는 반도체 시장이 전자빔 기술을 요구하고 있는 것이며, 계측과 결함 검사 기능이 매우 중요해졌다”고 했다.
CFE 기술은 △극도의 초고진공 전자빔 컬럼 △새로운 자가 세정 모드를 기반으로, 반도체 결함을 더 빠르게 검출하도록 지원하는 혁신 기술이다. 나노미터 단위 기저부 결함을 찾을 수 있고 이미지 작업 속도를 향상시킬 수 있다는 게 회사 측 설명이다.
AMAT는 CFE 기술에 기반한 전자빔 시스템 ‘SEM 비전 G10’과 ‘프라임 비전 10’도 출시했다. 미국 실리콘밸리에 본사가 있는 AMAT는 삼성전자와 SK하이닉스 등을 고객사로 뒀다. 2021년 기준 세계 전자빔 시장 점유율 50% 이상을 차지한 전자빔 시스템 분야 최대 공급 업체다.
최영지 (young@edaily.co.kr)
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