[스페셜리포트] 웨이퍼 증설 투자에 장비 훈풍

실리콘 웨이퍼 업계가 증설 투자에 나서면서 후방 장비 업계에 훈풍이 불고 있다.

9일 업계에 따르면 실리콘 웨이퍼 잉곳을 만드는 그로잉 장비 업체들에 주문이 잇따르고 있다.

반도체 제조에 쓰이는 실리콘 웨이퍼는 원형의 얇은 판처럼 생겼지만 이는 큰 덩어리로 성장시킨 잉곳을 잘라 만든 것이다.

국내 1위 웨이퍼 그로잉 장비 업체인 에스테크는 12인치 그로잉 장비 수요 증가에 힘입어 대구 공장 증설을 검토하고 있다.

이 회사 관계자는 “올해 800억원 장비 매출이 예상되는데, 웨이퍼 생산물량 증가에 따라 공장 가동률을 높이면서 추가 증설하는 방안을 염두에 두고 있다”고 전했다.

대진기계와 현빈테크도 SK실트론 증설로 수혜가 기대되는 곳이다. 대진기계는 SK실트론이 2026년 상반기까지 2조3000억원 투자를 확정한 경북 구미 사업장 인근 공장에서 그로잉 장비를 공급한다. 대진기계와 현빈테크는 폴리실리콘을 공급받아 직접 원기둥 형태의 잉곳 생산 장비를 만든다.

이외에도 나라테크, 에이에스이 등 장비 업체가 반도체 웨이퍼 잉곳 장비 공급을 준비하거나 잉곳을 가공하고 세정하는 장비 등을 공급할 예정이다.

에스에프에이(SFA)는 대만 글로벌웨이퍼스, 일본 신에츠, 섬코 등에 웨이퍼 공정 관련 장비를 공급한다. SFA는 글로벌웨이퍼스가 세운 미국 법인(GWA)으로부터 440억원 규모 자동화 장비를 수주했다. 일본 다이후쿠, 무라텍 등 일본 유수 자동화 공정 장비 전문 업체들과 경쟁해 이뤄낸 성과다. GWA에 장비 공급에 힘입어 추가 수주도 기대 중이다. SFA는 글로벌 웨이퍼스 한국 법인(MEMC Korea) 수주 프로젝트를 완료한 레퍼런스를 기반으로 다른 글로벌 웨이퍼 기업들과 반도체 자동화 공정 시스템 공급 확대를 추진할 계획이다.

잉곳 장비 관련 업체 관계자는 “실리콘 웨이퍼 증설 투자가 늘어나면서 잉곳 관련 장비를 신규 공급하거나 일본 신에츠, 섬코 등에 장비, 부품 공급에 나서려는 국내 장비 업체들로 늘고 있다”고 말했다.

김지웅기자 jw0316@etnews.com