"반도체는 ○○ 싸움"…글로벌 칩 패권 다툼 열쇠는

반도체 기술 고도화에 첨단 장비 중요성↑
생산성 높여주는 ASML EUV 불티나는 이유
업계 "첨단 장비 수요 전반적으로 올라가"
패권다툼 심화에…장비 확보 경쟁 격화할 듯

[이데일리 이다원 기자] “반도체는 결국 장비 산업입니다. 초미세공정이 가능한 장비와 기술력이 있다면 ‘나노 경쟁’에서 앞설 수 있습니다.”(반도체 업계 관계자)

ASML 클린룸 내부 전경.ⓒASML (사진=ASML)

7일 업계에 따르면 반도체 산업에서 첨단 장비의 중요성이 점차 커지고 있다. 대표적인 제품은 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML의 극자외선(EUV) 장비. 반도체를 만들기 위해서는 웨이퍼(판)에 빛으로 미세한 전자 회로를 그려 넣는 노광(포토) 작업이 필요하다. EUV 장비는 극자외선으로 노광 작업을 하기 때문에 10나노미터(㎚·1나노미터는 10억분의 1m) 이하 초미세 공정이 가능하다.

한 개의 웨이퍼로 생산할 수 있는 반도체 숫자는 늘어나는 데다, 회로가 미세해질수록 반도체 성능은 올라가기 때문에 이를 활용할 수만 있다면 높은 생산성을 담보할 수 있다. 최병덕 성균관대 전기전자공학부 교수는 “EUV와 같은 첨단 장비는 (첨단 반도체에) 선택적으로 사용하는 것으로 모든 반도체 제품에 다 적용되는 것은 아니다”면서도 “EUV 장비를 많이 확보해 전체적인 양산 스케일을 높이면 반도체 제조 양이 늘어날 수 있다”고 했다.

ASML이 생산하는 EUV 장비는 한 해에 60~70여 대 수준이다. 한 대 가격이 2000억원이 넘는 고가이지만 반도체 제조기업 수요에 비하면 턱없이 부족해 ASML은 ‘수퍼 을(乙)’로 불린다.

따라서 장비를 차지하려는 기업들의 경쟁도 치열해지고 있다. 삼성전자와 SK하이닉스, 대만 TSMC와 미국 인텔 등 반도체 제조 기업들의 시선이 쏠리는 이유다. 구매뿐만 아니라 이를 얼마나 잘 활용하는지도 관건이다. SK하이닉스는 지난 1일 컨퍼런스콜에서 “EUV 적용의 효율성을 극대화하는데 초점을 맞췄고 현재로서는 업계 최고 수준의 EUV 생산성을 확보했다”며 “점진적으로 EUV 적용을 늘려갈 계획”이라고 말했다.

(사진=이미지투데이)

EUV뿐만 아니라 핵심 생산단계에 쓰이는 첨단 장비 수요도 함께 올라가는 가운데 이제는 장비 확보 경쟁이 글로벌 반도체 패권 다툼까지 번지는 분위기다. 첨단 반도체 장비 수출을 막아 산업 경쟁력을 위축시키는 전략이다. 미국에 이어 장비 강국인 일본과 네덜란드까지 중국 반도체 굴기를 견제하기 위해 첨단 장비 수출을 통제키로 한 이유다.

한 반도체 업계 관계자는 “EUV가 대표적이지만 일본이나 미국이 생산하는 반도체 장비 중 첨단 제품에 대한 수요는 계속 높아지고 있다”며 “반도체 공장을 더 짓자는 분위기가 전 세계에 퍼지면서 (장비) 경쟁이 한층 치열해졌다”고 설명했다.

장비 확보 경쟁이 본격화한 가운데 우리나라도 최근 글로벌 반도체 장비 공급망을 확보하기 위한 노력을 기울이고 있다. 이 관계자는 “지방자치단체 등이 나서 글로벌 장비 기업을 유치하는 등 노력하고 있지만 보다 확실한 유인책이 필요하긴 하다”며 세액공제 등 혜택이 필요하다고 강조했다.

이다원 (dani@edaily.co.kr)