예스티, 65억 규모 반도체 습도제어 '네오콘' 수주

[이데일리 김응태 기자] 반도체 장비 전문기업 예스티(122640)가 국내 반도체 업체에 65억원 규모의 고효율 습도 제어 장비 ‘네오콘’을 납품하는 계약을 체결했다고 31일 밝혔다.

네오콘은 기존 반도체 공정에 사용되던 ‘질소가스’ 기반 습도 제어 장비를 대체하는 장비다. 질소를 사용하지 않아 원가 절감 효과가 크다. 이에 기존 고객사뿐 아니라 다른 글로벌 반도체 기업 및 국내외 메이저 반도체 장비사들도 적용 여력이 크다는 게 회사 측 설명이다.

예스티는 지난해 10월 차세대 습도 제어 장비 네오콘 개발을 완료해 국내 글로벌 반도체 기업과 공동으로 공정 평가를 진행한 바 있다. 공정 평가 결과 습도를 기준치 이하로 제어할 수 있다는 평가를 받았다.

네오콘은 파운드리 공정뿐 아니라 메모리 및 디스플레이 공정으로도 적용이 확대된다. 최근 글로벌 반도체 기업들의 공정 미세화 추세가 가속화하고 있어 습도 관리에 대한 중요성이 부각되고 있기 때문이다.

네오콘은 반도체 공정 내 웨이퍼 이송장치 ‘EFEM(Equipment Front End Module)’에 적용 가능한 모듈 타입으로 개발돼 EFEM 내부의 습도를 제어, 반도체 수율을 개선하는 효과가 있다.

예스티 관계자는 “네오콘은 공정평가 과정에서 고객사가 요구하는 기준보다 훨씬 뛰어난 습도제어 성능을 인정받아 파운드리 공정 및 메모리 공정에도 공급하는 데 성공했다”며 “현재 다른 공정에도 확대하기 위한 데모 평가를 진행하고 있으며, 향후 반도체 전체 공정으로 적용을 확장시켜 나갈 것”이라고 말했다.

김응태 (yes010@edaily.co.kr)