한양대, 반도체 클린룸 구축…구자겸 회장 17억 원 현물 기부

27일 서울 성동구 한양대 서울캠퍼스에서 진행된 ‘한양 스마트반도체 나노팹 클린룸’ 준공식에서 관계자들이 방진복을 입고 클린룸을 둘러보고 있다. 한양대 제공

한양대는 27일 서울 성동구 서울캠퍼스에서 ‘한양 스마트반도체 나노팹 클린룸’ 준공식을 개최했다고 29일 밝혔다.

클린룸은 미세한 먼지를 비롯해 기온과 습도, 기류 등 반도체 품질에 영향을 줄 수 있는 요소들을 일정 기준에 맞게 관리하는 공간이다. 이번에 신설된 클린룸은 면적 618.15㎡ 규모다. 증착(蒸着), 식각(蝕刻), 열처리 등 반도체 공정의 핵심 장비가 설치될 예정이다.

이번 클린룸 구축에는 한양대 기계공학부 동문인 구자겸 NVH코리아 및 원방테크 회장이 공조시설과 전등, 자동제어 시스템 등 약 17억 원 상당의 현물을 기부했다.

한양대는 지난해 7월 한양스마트반도체연구원(HY-ISS)을 신설해 반도체 연구 경쟁력을 높이기 위한 토대를 마련했다.

27일 열린 준공식에는 김종량 한양학원 이사장, 김우승 한양대 총장, 안진호 HY-ISS 원장, 구자겸 회장 등 주요 관계자들이 참석했다.

안진호 원장은 “클린룸 신설을 통해 더욱 안정적으로 반도체 관련 연구가 진행될 것”이라며 “국가 및 반도체 산업 경쟁력 향상에 기여하겠다”라고 말했다.

박성민 기자 min@donga.com