한양대, 스마트반도체나노팹 클린룸 준공

작년 7월 연구원 신설 이어 제조 시설도 갖춰...618.15㎡ 규모에 노광장비 등 갖춰

(지디넷코리아=방은주 기자)한양대(총장 김우승)는 ‘한양스마트반도체나노팹 클린룸’ 준공식을 27일 개최했다고 밝혔다.

클린룸은 미세한 먼지를 비롯한 기온, 습도, 기류 기압 등 반도체 품질에 영향을 줄 수 있는 요소들이 일정 규격에 맞춰 관리되는 공간이다. 한양대가 이번에 신설한 클린룸은  618.15㎡ 면적에 청정도1000(포토존 100)의 환경으로 구축됐다. 노광장비와 증착장비, 식각장비, 열처리장비 등 핵심 반도체 공정 장비가 설치될 예정이다.

한양대가 27일 ‘한양스마트반도체나노팹 클린룸’ 준공식을 개최했다.

클린룸 준공을 위해 한양대 기계공학부 동문인 구자겸 NVH코리아·원방테크 회장이 공조시설과 전등, 전열 및 자동제어 시스템 등 약 17억 원 상당의 현물을 기부했다. 앞서 한양대는 지난해 7월 한양스마트반도체연구원(HY-ISS, 원장 안진호)을 신설한 바 있다. 이번 클린룸 준공으로 인적·물적 인프라를 겸비한 반도체 연구 핵심 기관으로 거듭나게 됐다고 학교는 설명했다.

이날 오후 서울 성동구 서울캠퍼스에서 열린 준공식에는 김종량 한양학원 이사장과 김우승 총장, 안진호 원장, 구자겸 원방테크 회장과 정우현 부회장 등이 참석했다. 안진호 원장은 "신설한 클린룸에서 더욱 안정적으로 반도체 관련 소자 및 신소재 연구를 진행할 것”이라면서 “지속적인 교육과 연구를 통해 국가 및 반도체 산업 경쟁력 향상에 기여하겠다"고 말했다.

구자겸 원방테크 회장이 축사를 하고 있다.

방은주 기자(ejbang@zdnet.co.kr)