한양대, 반도체 제조공정 시설 구축..구자겸 회장, 17억 현물 기부
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한양대(총장 김우승)가 27일, '한양스마트반도체나노팹 클린룸' 준공식을 개최했다.
한양대는 이번 제조공정 시설 구축을 통해 반도체 분야의 선도 기관으로 도약하겠다는 계획이다.
한양대는 지난해 7월에 한양스마트반도체연구원(HY-ISS, 원장 안진호)을 신설하여 반도체 산업 경쟁력 확보에 나섰으며 이번 클린룸 준공을 통하여 인적·물적 인프라를 겸비한 반도체 연구의 핵심 기관으로 거듭나게 됐다.
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한양대(총장 김우승)가 27일, ‘한양스마트반도체나노팹 클린룸’ 준공식을 개최했다. 한양대는 이번 제조공정 시설 구축을 통해 반도체 분야의 선도 기관으로 도약하겠다는 계획이다.
클린룸은 미세한 먼지를 비롯한 기온, 습도, 기류 기압 등 반도체 품질에 영향을 줄 수 있는 요소들이 일정 규격에 맞게 관리되는 공간이다.
이번에 신설된 클린룸은 618.15m2 면적에 청정도1000(포토존 100)의 환경으로 구축됐으며, 노광장비/증착장비/식각장비/열처리장비 등 핵심 반도체 공정 장비가 설치될 예정이다.
특히 구자겸 NVH코리아(주) 겸 ㈜원방테크 회장이 클린룸 구축을 위해 공조시설과 전등, 전열 및 자동제어 시스템 등 약 17억 원 상당의 현물을 기부해 눈길을 끌었다. 구 회장은 한양대 기계공학부 동문이다.
이날 오후 서울 성동구 서울캠퍼스에서 진행된 준공식에는 김종량 한양학원 이사장, 김우승 총장, 안진호 원장을 비롯해 ㈜원방테크 구자겸 회장, 정우현 부회장 등 주요 관계자들이 참석했다.
한양대는 지난해 7월에 한양스마트반도체연구원(HY-ISS, 원장 안진호)을 신설하여 반도체 산업 경쟁력 확보에 나섰으며 이번 클린룸 준공을 통하여 인적·물적 인프라를 겸비한 반도체 연구의 핵심 기관으로 거듭나게 됐다.
안진호 원장은 “신설된 클린룸에서 더욱 안정적으로 반도체 관련 소자 및 신소재 연구가 진행될 것”이라며 “지속적인 교육과 연구를 통해 국가 및 반도체 산업 경쟁력 향상에 기여하겠다”고 했다.
김현아 (chaos@edaily.co.kr)
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