한양대 '스마트반도체나노팹 클린룸' 준공…"반도체 선도기관 도약"

서울 성동구 서울캠퍼스에서 지난 27일 열린 한양스마트반도체나노팹 클린룸 준공식에서 관계자들이 방진복을 입고 클린룸 투어를 진행하고 있다. (한양대 제공)

(서울=뉴스1) 양새롬 기자 = 한양대학교는 지난 27일 서울 성동구 서울캠퍼스에서 '한양스마트반도체나노팹 클린룸' 준공식을 개최했다고 29일 밝혔다.

클린룸은 미세한 먼지를 비롯한 기온과 습도, 기류 기압 등 반도체 품질에 영향을 줄 수 있는 요소들이 일정 규격에 맞게 관리되는 공간이다.

이번에 신설된 클린룸은 618.15㎡ 면적에 청정도 1000(포토존 100)의 환경으로 구축됐으며, 노광장비·증착장비·식각장비·열처리장비 등 핵심 반도체 공정 장비가 설치될 예정이다.

한양대는 이번 제조공정 시설 구축을 통해 반도체 분야의 선도 기관으로 도약하겠다는 계획이다.

한양대는 기계공학부 동문인 구자겸 NVH코리아(주) 겸 ㈜원방테크 회장이 이번 클린룸 구축을 위해 공조시설과 전등, 전열 및 자동제어 시스템 등 17억원 상당의 현물을 기부했다고 소개했다.

안진호 한양스마트반도체연구원장은 "신설된 클린룸에서 더욱 안정적으로 반도체 관련 소자 및 신소재 연구가 진행될 것"이라며 "지속적인 교육과 연구를 통해 국가 및 반도체 산업 경쟁력 향상에 기여하겠다"라고 말했다.

flyhighrom@news1.kr