나노종기원 종합감사, 반도체 장비로 확대

과기정통부, 기술료 부당 취득 관련 종합감사 착수
일부에선 "전 정부의 소부장 성과 흠집내기" 의혹

나노종합기술원에 구축된 반도체 장비 모습, 이달에 재개된 감사는 소부장 기술자립 지원을 위해 구축된 '12인치 반도체 테스트 장비'에 초점을 맞춰 진행되고 있다. 디지털타임스 DB

KAIST 내 위치한 나노종합기술원 전경으로, 지난해 11월 시작된 과기정통부 감사가 이달까지 장기화되고 있다.

KAIST 부설 기관인 나노종합기술원이 작년부터 올초까지 세달째 정부 종합감사를 받고 있다. 지난해 10월 국정감사에서 제기된 '임직원 기술료 부당 취득'으로 시작된 감사가 해를 넘겨 장기화하고 있다. 여기에 새 기관장 선임이 차일피일 미뤄지면서 기관 운영에 어려움이 이어지고 있다.

일부에서는 2019년 일본 수출규제 이후 국내 소부장 기술 자립과 국산화 지원을 위해 정부 지원을 받아 나노종기원이 구축한 '반도체 테스트베드' 장비 도입과 계약, 활용 등에 대한 외부 전문가 감사가 진행되고 있어 전 정부의 소부장 성과를 깎아내리기 위한 의도가 있는 게 아니냐는 의혹도 제기한다.

19일 과학기술계에 따르면, 지난해 국감에서 정필모 의원이 나노종기원 임직원의 기술료 부당 취득에 대해 문제제기를 한 후 과기정통부가 감사관실, 외부 합동 감사인 등 10명 이상으로 감사반을 꾸려 11월부터 한 달 간 나노종기원에 대한 종합감사을 진행했다.

나노종기원이 소관 부처인 과기정통부 종합감사를 받은 것은 2004년 설립 후 처음이다. 지금까지 KAIST 부설기관인 점을 고려해 KAIST 감사 때 함께 받는 정도였다. 감사반은 국감에서 지적된 임직원 기술료 부당 취득을 비롯해 담당자의 '인사고과 셀프 상향' 의혹, 450억원 규모의 '12인치 반도체 테스트베드' 구축 과정 등 나노종기원 경영 전반에 대한 감사를 진행했다.

이후 종합감사는 12월 초 종료됐지만, 연말까지 산발적으로 감사인력이 다시 나와 감사를 이어갔다. 나노종기원은 감사가 계속되자 직원협의회 주도로 총회를 열어 감사가 장기화되는 것에 우려를 표명하기도 했다. 이런 상황에서 작년 9월 임기가 끝난 이조원 원장이 차기 원장 선임 전까지 기관을 이끌면서 감사 대응에 집중하다 보니 신년 경영계획 수립 등 정상적인 기관 운영에 차질이 빚어지고 있다.

그런 상황에서 새해 들어 또다시 감사가 재개됐다. 이번에는 과기정통부가 적극행정 최우수 사례로 선정했던 '12인치 반도체 테스트베드'가 집중 감사 대상이 됐다. 반도체 테스트베드는 과기정통부가 일본 수출규제 이후 소부장 기술 자립을 돕기 위해 추경으로 확보한 450억원을 투입해 10대의 반도체 장비를 구축하는 사업이었다.

테스트베드에는 200억원에 달하는 '불화아르곤(Ar) 이머전 스캐너 장비'를 비롯해 감광제를 웨이퍼에 고르게 도포 또는 제거하는 '트랙장비', 미세 패턴 선폭 측정 및 패턴 형상을 확인하는 'CD-SEM 장비' 등이 구축됐다. 감사반은 반도체 장비 중 삼성전자에서 중고로 들여온 불화아르곤 이머전 스캐너 장비 등의 도입부터 계약, 활용 등 운영 전반에 걸쳐 감사를 벌이는 것으로 알려졌다.

과기정통부 관계자는 이에 대해 "지난해 12월 종료된 종합감사를 검토하던 중 반도체 테스트베드 장비에 대한 외부 이용자의 지적사항이 제기돼 이에 초점을 맞춰 이번 주 감사를 재개했다"며 "감사를 통해 나노종기원이 반도체 장비를 보다 효율적으로 운영하고 활용하는 방안을 도출하는데 집중하고 있다"고 말했다.이준기기자 bongchu@dt.co.kr