코셈, 전자현미경 분야 혁신제품 'CP-SEM' 상용화 박차

전자현미경 전문기업 ㈜코셈(대표 이준희)은 '단면 및 표면 폴리싱 가능한 고성능 이온 밀러를 결합한 주사전자현미경(CP-SEM: Cross section Polisher-Scanning Electron Microscope)'의 상용화에 박차를 가하고 있다고 17일 밝혔다.

이 제품의 기술 및 기능은 △아르곤 이온 빔을 가속전압 10kV 이상으로 가속하여, 표준시료(Si)의 단면 식각을 1,000um/h 이상 달성할 수 있도록 집속하는 기술, △CP에 의한 시료의 가공위치와 SEM의 분석 위치를 자동으로 일치시킬 수 있는 자동 시료 이송장치 기술, △이온 빔 가공과 전자현미경의 분석을 대기 비개방 상태에서 시료를 가공하고 분석할 수 있는 통합 시스템(CP-SEM) 기술로 요약된다. 이 제품이 상용화되면 세계 최초의 제품이 될 것이라고 회사 측은 설명했다.

이 제품은 코셈이 상용화에 성공하여 성공적인 시장진출을 하고 있는 시료 전처리를 위한 이온 밀링(CP-8000+)과 이미 캐시 카우로 자리잡은 주력제품 주사전자현미경(SEM - EM30시리즈)을 결합한 장비로, 시료를 대기에 개방하지 않고 시료의 가공(CP) 및 분석 (SEM)을 할 수 있는 융합장비다.

이 제품은 기술적인 파급효과가 클 전망이다. 요즘 핵심 산업분야인 이차전지 산업은 양극, 음극, 전해질, 분리막 등 산소 및 수분에 반응성이 높은 소재들을 많이 사용하고 있는데, 코셈의 이 기술을 이용하면 시료 제작에서 분석까지 진공분위기에서 반응 없이 원상태의 동작을 정확히 규명·분석할 수 있게 된다. 또한 대기 비개방으로 가공 및 분석이 가능한 시스템은 현재 'Dual Beam System'(FIB and SEM)이 유일하며, 이 장비는 가공 단위가 수십 um에 제한적이나 CP-SEM은 수 mm 단위의 시료를 가공하고 분석할 수 있어 완전히 새로운 분석을 가능하게 한다고 회사 측은 설명했다.

이 제품의 개발 및 상용화를 주도하고 있는 김용주 부사장(CTO & CMO)은 "현재 Dual Beam System(FIB and SEM)은 전량 수입하고 있어 CP-SEM이 상용화 되어 판매를 시작하게 되면 Dual Beam System의 수입 대체가 가능하고 세계 최초의 융합제품으로 기록될 것"이라며 "CP-SEM이 해외 관련 시장을 선도하면서 SEM과 CP 단품으로 제한적인 시장에 머물러 있던 코셈이 해외 판로확대를 통한 매출 증대를 실현할 수 있을 전망"이라고 분석했다.

김재련 기자 chic@mt.co.kr

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