세계 최초 개발한 반도체 기술, 장비업체 연구원 등이 中 유출

檢 '세메스' 前연구원 등 5명 기소
다른 회사 설립후 핵심 도면 빼돌려

한 반도체 업체 직원이 반도체 제품을 들어보이고 있다. 서울경제DB

[서울경제]

우리나라가 세계 최초로 개발에 성공한 반도체 핵심 기술을 중국에 유출한 혐의를 받는 전직 반도체 장비 업체 연구원 등이 재판에 넘겨졌다.

수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부(박진성 부장검사)는 16일 부정경쟁방지법 위반 등 혐의로 반도체 제조 장비 생산 업체 ‘세메스’의 전직 연구원 A 씨 등 2명과 기술 유출 브로커 B 씨, 세메스 협력사 대표 C 씨 등 4명을 구속 기소했다고 밝혔다. 또 같은 혐의로 세메스 협력사 직원 1명을 불구속 기소했다.

A 씨는 2016년 세메스를 그만두고 2019년 다른 회사를 설립한 뒤 2021년 6월 세메스가 세계 최초로 개발한 ‘초임계 반도체 세정 장비’ 핵심 도면을 C 씨로부터 취득, 이를 브로커 B 씨를 통해 중국에 유출한 혐의를 받는다. 협력사 대표 C 씨는 A 씨에게 초임계 도면을 넘겨주는 대가로 A 씨로부터 38억 원의 투자금을 받은 것으로 조사됐다. 브로커 B 씨는 16억 원을 전달받았다.

초임계 세정 장비는 초임계(액체와 기체를 구분할 수 없는 상태) 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비다. 이 기술은 기판 손상을 최소화하는 차세대 기술로 산업통상자원부가 지정한 국가 핵심 기술이다.

A 씨는 함께 구속 기소된 세메스 전 연구원과 공모해 2021년 5∼7월 세메스가 일본에 이어 세계 2번째로 개발한 ‘매엽식 인산 세정 장비 기술 정보’를 자신이 운영하는 회사 내부 직원들에게 누설한 혐의도 받는다. 인산 세정 장비는 인산 약액을 이용해 반도체 웨이퍼를 1개씩 세정하는 장비다.

이밖에 A 씨는 2019년 7월부터 지난해 10월까지 회삿돈 27억 원을 횡령한 것으로도 조사됐다. 이 과정에서 브로커 B 씨는 A 씨가 2020년 10월 11억 원을 횡령하는 데 가담한 혐의를 받는다.

A 씨는 지난해 5월 다른 기술을 유출한 혐의로 이미 구속 기소된 바 있다. 그는 같은 해 11월 구속 기한 만료 등으로 보석으로 풀려나 불구속 재판을 받아왔으나 검찰이 추가 기술 유출 범죄를 밝혀내면서 재수감됐다.

박 부장검사는 “피해 회사는 초임계 기술 개발을 위해 연구비 등 350억 원을 투자했고 이번 기술 유출로 기술 경쟁력이 떨어져 거래처 수주가 10%만 낮아진다면 연간 400억 원 이상 손해가 발생할 것으로 우려된다”고 했다. 그는 “기술 유출 범죄는 기업 생존은 물론 국가 경쟁력과 국가 안보에 위협이 되는 중대한 범죄”라며 “건전한 기술 개발 풍토를 해치고 공정한 시장 경쟁 질서를 해치는 산업 기술 및 영업 비밀 침해 행위에 대한 수사를 확대하겠다”고 강조했다.

천민아 기자 mina@sedaily.com