반도체 세정 장비 ‘국가핵심기술’ 해외로 유출한 세메스 전 직원들 구속기소

수원지검 전경. 연합뉴스

국가핵심기술인 ‘초임계 반도체 세정장비’ 제조 기술을 해외로 유출한 세메스 전 연구원들이 구속 기소됐다.

수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부(부장검사 박진성)는 16일 부정경쟁방지법 위반 등 혐의로 세메스 전 연구원 A씨 등 2명과 기술 유출 브로커 B씨, 세메스 협력사 대표 C씨 등 4명을 구속 기소했다고 밝혔다. 또 같은 혐의로 세메스 협력사 직원 1명을 불구속 기소했다.

A씨는 2016년 세메스를 그만두고 2019년 다른 회사를 설립한 뒤 2021년 6월 세메스가 세계 최초로 개발한 ‘초임계 반도체 세정장비’ 핵심 도면을 C씨로부터 취득해 이를 브로커 B씨를 통해 중국에 유출한 혐의를 받는다.

협력사 대표 C씨는 A씨에게 초임계 도면을 넘겨주는 대가로 A씨로부터 38억원 투자금을 받은 것으로 조사됐다. 브로커 B씨는 16억원을 전달받았다.

초임계 세정 장비는 초임계(액체와 기체를 구분할 수 없는 상태) 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비다. 이 기술은 산업통상자원부가 지정한 국가핵심기술이다.

A씨는 지난해 9월쯤 중국 민간 반도체 업체에 초임계 세정장비 10대(대당 248억원)를 납품한 뒤 기술을 이전하기로 협약했다. 다만 검찰 수사가 시작되면서 실제 장비 납품은 이뤄지지 않은 것으로 파악됐다.

앞서 A씨는 지난해 5월 세메스가 개발한 습식 반도체 세정 장비 기술을 유출한 혐의로도 구속기소된 바 있다. 그는 같은 해 11월 구속기한 만료 등으로 보석으로 풀려나 불구속 재판을 받아왔으나, 검찰이 추가 기술 유출 범죄를 밝혀내면서 다시 수감됐다.

검찰은 피고인들의 범죄 수익을 환수하기 위해 A씨 업체 공장에 있던 습식 반도체 세정장비 본체 6세트와 예금 채권, 부동산 등을 가압류해 약 535억원 상당을 보전조치 했다.

박진성 부장검사는“기술 유출 범죄는 기업 생존은 물론 국가 경쟁력과 국가 안보에 위협이 되는 중대한 범죄”라며 “건전한 기술 개발 풍토를 해치고 공정한 시장 경쟁 질서를 해치는 산업기술 및 영업비밀 침해행위에 대한 수사를 확대하겠다”고 말했다.

김태희 기자 kth08@kyunghyang.com