'초임계 반도체 세정' 기술 중국에 넘긴 연구원 등 5명 기소

제조 기판 손상 최소화하는 국가 핵심 기술
재판부 "연간 400억원 이상 손해 발생 우려"

중견기업이 개발한 반도체 관련 국가핵심기술을 중국에 유출한 연구원과 협력사 대표 등이 구속돼 재판에 넘겨졌다. 

수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부는 16일 수원지검 청사에서 기자회견을 열어 부정경쟁방지법 위반 등 혐의로 세메스 전 연구원 A씨 등 2명과 기술 유출 브로커 B씨, 세메스 협력사 대표 C씨 등 4명을 구속기소 했다고 밝혔다. 같은 혐의를 받는 세메스 협력사 직원 1명은 불구속기소 됐다.

수원지방검찰청사 전경.

재판부는 “피해 회사(세메스)는 초임계 기술개발을 위해 연구비 등 350억원을 투자했고, 이번 기술 유출로 기술경쟁력이 떨어져 거래처 수주가 10%만 낮아진다면 연간 400억원 이상 손해가 발생할 것으로 우려된다”고 했다.

이들이 유출한 것으로 알려진 ‘초임계(액체와 기체를 구분할 수 없는 상태) 반도체 세정장비’ 제조기술은 기판 손상을 최소화하는 차세대 기술로, 산업통상자원부가 지정한 국가핵심기술이다. 초임계 세정장비는 초임계이산화탄소를 이용해 반도체 기판을 세정하도록 설계됐다.

A씨는 지난해 9월쯤 중국 민간 반도체 업체에 초임계 세정장비 10대(대당 248억원)를 납품한 뒤 기술을 이전하기로 협약했다. 하지만 검찰 수사가 시작되면서 실제 장비 납품은 한대도 이뤄지지 않은 것으로 파악됐다.

A씨는 함께 구속기소 된 세메스 전 연구원과 공모해 2021년 5∼7월 세메스가 일본에 이어 세계 2번째로 개발한 ‘매엽식 인산 세정 장비 기술 정보’를 자신이 운영하는 회사 내부 직원들에게 누설한 혐의도 받는다.

인산 세정 장비는 인산 약액을 이용해 반도체 웨이퍼를 1개씩 세정하는 장비다.

A씨는 2016년 세메스를 그만두고 2019년 다른 회사를 설립한 뒤 2021년 6월 세메스가 세계 최초로 개발한 초임계 반도체 세정장비 핵심 도면을 C씨로부터 취득해 이를 브로커 B씨를 통해 중국에 유출한 혐의를 받는다.

협력사 대표 C씨는 A씨에게 초임계 도면을 넘겨주는 대가로 A씨로부터 38억원 투자금을 받은 것으로 조사됐다. 브로커 B씨는 16억원을 전달받았다.

이밖에 A씨는 2019년 7월∼22년 10월 회삿돈 27억원을 횡령한 것으로도 조사받고 있다. 이 과정에서 브로커 B씨는 A씨가 2020년 10월 11억원을 횡령하는 데 가담한 혐의를 받는다.

A씨는 지난해 5월 세메스가 개발한 습식 반도체 세정 장비 기술을 유출한 혐의로 구속기소 된 바 있다. 같은 해 11월 구속기한 만료 등으로 보석으로 풀려나 불구속 재판을 받아왔으나, 검찰이 추가 기술 유출 범죄를 밝혀내면서 다시 수감됐다.

검찰은 피고인들의 범죄 수익을 환수하기 위해 A씨 업체 공장에 있던 습식 반도체 세정장비 본체 6세트와 예금 채권, 부동산 등을 가압류해 약 535억원 상당을 보전조치 했다. A씨 등은 2019년 12월부터 2022년 7월까지 세메스에서 유출한 정보로 만든 습식세정장비 20대 등을 수출해 1193억원 상당의 이득을 취한 것으로 조사됐다.

수원=오상도 기자 sdoh@segye.com